[发明专利]一种表面放射性测量谱仪以及提高测量精度的方法

权利要求书

1.一种表面放射性测量谱仪，包括容器和探测部件，其特征在于，所述容器包括多个容器壁，所述多个容器壁封闭形成测量空间，所述探测部件被设置于所述容器内部。

2.如权利要求1所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述探测部件包括像素读出平面，所述像素平面被设置为能够记录带电粒子的平面位置坐标。

3.如权利要求2所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述像素读出平面上可以根据信号的到达时间先后确定垂直于其方向的相对坐标。

4.如权利要求3所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，待测样品被放置于所述容器内进行测量。

5.如权利要求4所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，还包括电场生成部件，所述电场生成部件被设置于所述容器内部，所述电场生成部件包括阴极板与场笼，所述阴极板与所述场笼配合，生成匀强电场。

6.如权利要求5所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述阴极板被设置于所述容器的底部，所述待测样品被设置于所述阴极板上。

7.如权利要求6所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述阴极板为实心的导体板，或是由导电丝制成的网状板。

8.如权利要求7所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述场笼包括导电体框，所述导电体框由多个导电体等间距地设置构成。

9.如权利要求8所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述场笼还包括绝缘体，所述绝缘体填充在所述多个导电体之间的间隙中。

10.如权利要求9所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述容器包括容器室与容器盖，所述容器盖与所述容器室配合，形成测量空间。

11.如权利要求10所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述像素读出平面设置于所述容器盖的下表面，所述阴极板被设置于所述容器室的底部。

12.如权利要求11所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，还包括密封机构，所述密封机构设置于所述容器盖与所述容器室之间。

13.如权利要求12所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述密封机构包括密封圈与多个卡扣，所述多个卡扣被设置于所述容器盖的圆周上。

14.如权利要求13所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，还包括抽气口，所述抽气口设置于所述容器室侧壁上，所述抽气口的一端与所述容器室内部连通。

15.如权利要求14所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述抽气口的另一端与抽气装置连接。

16.如权利要求15所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，所述抽气装置包括多级真空泵组。

17.如权利要求16所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，还包括气体循环装置，所述气体循环装置包括设置在所述容器室的侧壁上的气体循环泵。

18.如权利要求17所述的表面放射性测量谱仪，其特征在于，还包括气体净化装置，所述气体净化装置设置于所述容器室的侧壁上。