[发明专利]一种输送机构及切割装置在审

专利信息
申请号: 202011056075.3 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN112223425A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 张凤磊 申请(专利权)人: 上海精测半导体技术有限公司
主分类号: B26F3/16 分类号: B26F3/16;B26D7/06;B26D7/01
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201703 上海市青浦区赵巷*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 输送 机构 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种输送机构,其特征在于,包括:

基座(1),所述基座(1)上设置有沿预设方向延伸的凹槽(11);

运动组件(3),所述运动组件(3)部分容纳于所述凹槽(11)内,所述运动组件(3)用于承载待加工工件;

直线驱动源(2),设置在所述基座(1)上,所述直线驱动源(2)能驱动所述运动组件(3)沿预设方向移动,所述直线驱动源(2)对所述运动组件(3)的驱动力和所述运动组件(3)的重心在水平面内共面。

2.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于,所述运动组件(3)包括:

连接板(31),设置在所述基座(1)上侧并与所述直线驱动源(2)的输出端相连接;

载台(33),设置在所述连接板(31)的上侧;

悬浮组件(34),连接于所述载台(33)的下表面,所述悬浮组件(34)的下端伸入所述凹槽(11)内,所述悬浮组件(34)能够悬浮在所述凹槽(11)的槽底上。

3.如权利要求2所述的输送机构,其特征在于,所述运动组件(3)还包括:

转动驱动源(32),固定连接在所述连接板(31)上,所述载台(33)与所述转动驱动源(32)的输出端相连接。

4.如权利要求2所述的输送机构,其特征在于,所述悬浮组件(34)包括:

转轴(341),所述转轴(341)的上端连接在所述载台(33)的下表面;

气浮组件(343),连接在所述转轴(341)的下端,所述气浮组件(343)用于向所述凹槽(11)的槽底吹入正压气体,以使所述载台(33)受到向上的上浮力;

所述悬浮组件(34)还包括预载组件(344),所述预载组件(344)用于对所述载台(33)施加向下的预载力。

5.如权利要求2所述的输送机构,其特征在于,所述悬浮组件(34)包括转轴(341)和轴套(345),所述转轴(341)的上端连接在所述载台(33)的下表面,所述轴套(345)套设于所述转轴(341)的外侧,且上端与所述连接板(31)连接,下端伸入所述凹槽(11)内,所述轴套(345)与所述转轴(341)之间形成环形腔(346),与所述凹槽(11)的侧壁之间形成过气间隙(347),所述环形腔(346)与所述过气间隙(347)相连通,所述环形腔(346)和所述过气间隙(347)内分别通入正压气体。

6.如权利要求2所述的输送机构,其特征在于,所述运动组件(3)还包括设置在连接板(31)与所述载台(33)之间的至少三组辅助支撑(35),

所述辅助支撑(35)包括壳体(351)和滚珠(352),所述连接板(31)与所述载台(33)中的至少一个上连接有所述壳体(351),所述壳体(351)上设置有球槽,所述滚珠(352)可滚动地设置在所述球槽内,所述滚珠(352)设置在所述连接板(31)和所述载台(33)之间;或

所述辅助支撑(35)包括滚珠(352)以及设置在所述连接板(31)和所述载台(33)中的其中至少一个上的球槽,所述滚珠(352)可滚动地设置在所述球槽内,所述滚珠(352)设置在所述连接板(31)和所述载台(33)之间。

7.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于,所述输送机构还包括测量组件,所述测量组件用于检测所述运动组件(3)的位置,且所述测量组件与所述运动组件(3)的重心在水平面内共面。

8.如权利要求1所述的输送机构,其特征在于,所述输送机构还包括沿所述预设方向延伸的直线导轨(4),所述基座(1)上还设置有沿所述预设方向延伸的沉槽(12),所述直线导轨(4)设置在所述沉槽(12)内,所述运动组件(3)包括滑块(36),所述滑块(36)与所述直线导轨(4)滑动配合。

9.如权利要求8所述的输送机构,其特征在于,所述直线导轨(4)上端平行于所述预设方向的两个棱边处设置有倒角(41),沿所述预设方向,所述沉槽(12)的底面(121)为中间高两端低的弧面,所述直线导轨(4)通过紧固件固定在所述底面(121)。

10.一种切割装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的输送机构。

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