[发明专利]掩模台垂向测量工装及掩模台垂向测量方法

权利要求书

1.一种掩模台垂向测量工装，其特征在于，包括：支撑座(10)、测试支座(20)、两个传感器支架(30)和多个传感器(40)，所述测试支座(20)设置在所述支撑座(10)上，两个所述传感器支架(30)分别设置在所述测试支座(20)两侧，且两个传感器支架(30)均与所述测试支座(20)连接，多个所述传感器(40)分别设置在对应的所述传感器支架(30)上。

2.根据权利要求1所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，所述测试支座(20)包括支座本体(21)和支撑杆(22)，所述支座本体(21)与所述支撑座(10)连接，所述支撑杆(22)与所述支座本体(21)连接，所述传感器支架(30)与所述支撑杆(22)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，所述掩模台垂向测量工装还包括：顶紧旋钮(80)，所述顶紧旋钮(80)部分穿过所述传感器支架(30)与所述支撑杆(22)抵接。

4.根据权利要求2所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，所述掩模台垂向测量工装还包括：把手(90)，所述把手(90)与所述支座本体(21)连接。

5.根据权利要求1所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，所述传感器支架(30)上设置有位置调节部，所述传感器(40)通过所述位置调节部与所述传感器支架(30)连接。

6.根据权利要求5所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，

所述掩模台垂向测量工装还包括：紧固件，所述位置调节部为开设在所述传感器支架(30)上的条形孔，所述传感器(40)通过所述紧固件和所述条形孔的配合与所述传感器支架(30)连接；或，

所述位置调节部包括：滑轨、滑块和顶紧件，所述滑轨与所述传感器支架(30)连接，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述传感器(40)与所述滑块连接，所述顶紧件分别穿过所述传感器(40)和所述滑块后与所述传感器支架(30)抵接。

7.根据权利要求1所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，所述支撑座(10)与所述测试支座(20)可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，所述支撑座(10)的高度大于或等于光刻机的物镜物距。

9.根据权利要求1至8任一项所述的掩模台垂向测量工装，其特征在于，多个所述传感器(40)均具有可变量程。

10.一种基于掩模台垂向测量工装的掩模台垂向测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

将掩模台垂向测量工装的支撑座(10)通过掩模台承版台(50)的镂空处放置于物镜(60)的顶面上，并定位各个传感器(40)的触点位置；

取出工装，使用校准块(70)同步标定各个传感器(40)的初始测量值，使各个传感器(40)的初始测量值相同；

将支撑座(10)再次放到物镜(60)的顶面上，同时启动各个传感器(40)对掩模台承版面上的多个测量点进行测量，分别得到每个测量点处掩模台承版面与物镜(60)的顶面之间的垂向距离；

将每个测量点处掩模台承版面与物镜(60)的顶面之间的垂向距离与物镜物距进行比较，得到测量结果。

11.根据权利要求10所述的掩模台垂向测量方法，其特征在于，所述定位各个传感器的触点位置的步骤包括：根据所述物镜物距调节各个所述传感器(40)的触点位置。