[发明专利]硅棒研磨机在审
| 申请号: | 202010995008.1 | 申请日: | 2020-09-21 |
| 公开(公告)号: | CN114131480A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
| 发明(设计)人: | 卢建伟;李鑫;钱春军;曹奇峰;张峰 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/06 |
| 代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 研磨机 | ||
本申请公开一种硅棒研磨机,包括机座、硅棒转运装置、粗磨装置、以及精磨装置,其中,所述机座具有硅棒加工平台,所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位,硅棒转运装置包括转运主体及多个硅棒夹具和换位机构,利用换位机构驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置以令粗磨装置能对硅棒进行粗磨作业及精磨装置能对硅棒进行精磨作业,使得在同一时刻所述硅棒研磨机中的粗磨装置和精磨装置均处于工作状态,可提升硅棒研磨效率及缩减研磨作业耗时,且可提升经济效益。
技术领域
本申请涉及硅工件加工技术领域,特别是涉及一种硅棒研磨机。
背景技术
目前,随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放,光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅片从提拉或浇铸的硅锭后通过多线锯切割及后续加工而成。
现有硅片的制作流程,以单晶硅产品为例,一般地,大致的作业工序可包括:先使用硅棒截断机对原初的长硅棒进行截断作业以形成多段短硅棒;截断完成后,使用硅棒开方机对截断后的短硅棒进行开方作业后形成单晶硅棒;再对各个硅棒进行磨面、倒角等加工作业,使得硅棒的表面整形达到相应的平整度及尺寸公差要求;后续再对硅棒进行切片作业以得到硅片。
一般情况下,在对硅棒进行磨面、倒角的工序中必须经由粗磨和精磨两个过程,装载单根硅棒依次进行粗磨、精磨后将其移送卸载,再对另一硅棒进行装载、研磨(粗磨和精磨) 及卸载,在通常的大批量加工中硅棒研磨机重复这一加工过程,硅棒研磨机的磨具有大量时间处于空闲状态,研磨效率低下,影响硅棒加工的经济效益。
发明内容
鉴于以上所述相关技术的缺点,本申请的目的在于公开一种硅棒研磨机,用于解决现有技术中存在的研磨效率低下等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本申请公开一种硅棒研磨机,包括:机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位;硅棒转运装置,设于机座上,包括转运主体以及设于转运主体上的多个硅棒夹具和换位机构,所述换位机构用于驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置;其中,所述多个硅棒夹具分别对应的夹持中心线位于同一水平高度内;粗磨装置,设于第一加工区位,用于对硅棒转运装置中位于第一加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业;以及精磨装置,设于第二加工区位,用于对硅棒转运装置中位于第二加工区位处的硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业。
本申请公开的硅棒研磨机,包括机座、硅棒转运装置、粗磨装置、以及精磨装置,其中,所述机座具有硅棒加工平台,所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位,硅棒转运装置包括转运主体及多个硅棒夹具和换位机构,利用换位机构驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置以令粗磨装置能对硅棒进行粗磨作业及精磨装置能对硅棒进行精磨作业,使得在同一时刻所述硅棒研磨机中的粗磨装置和精磨装置均处于工作状态,可提升硅棒研磨效率及缩减研磨作业耗时,且可提升经济效益。
附图说明
本申请所涉及的发明的具体特征如所附权利要求书所显示。通过参考下文中详细描述的示例性实施方式和附图能够更好地理解本申请所涉及发明的特点和优势。对附图简要说明书如下:
图1a显示为本申请的硅棒研磨机在一实施例中的结构示意图。
图1b为图1a的俯视图。
图1c显示为图1a所示的硅棒研磨机的部分结构示意图。
图1d显示为本申请的硅棒研磨机的硅棒夹具在一实施例中部分结构示意图。
图2a显示为本申请的硅棒研磨机在一实施例中的结构示意图。
图2b为图2a的俯视图。
图2c显示为同2a所示硅棒研磨机的粗磨装置在一实施例中的结构示意图。
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