[发明专利]紫外脉冲激光器

权利要求书

1.一种紫外脉冲激光器，其特征在于，包括：

基频光脉冲光源，用于发出基频光；

倍频晶体，配置为II类相位匹配，用于对所述基频光进行倍频频率变换为倍频光，用于将所述基频光分解为偏振方向互相垂直的第一偏振方向基频光及第二偏振方向基频光；

第一和频晶体，用于将所述倍频光与所述第一偏振方向基频光进行和频频率变换为第一紫外光；以及

第二和频晶体，用于将所述倍频光与所述第二偏振方向基频光进行和频频率变换为第二紫外光；

其中，所述紫外脉冲激光器将所述第一紫外光和所述第二紫外光一同输出；

所述第一和频晶体和所述第二和频晶体两者中的一个配置为I类相位匹配或周期性极化反转的准相位匹配，所述第一和频晶体和所述第二和频晶体两者中的另一个配置为II类相位匹配。

2.根据权利要求1所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述倍频晶体为II类相位匹配的KTP非线性晶体、II类相位匹配的LBO非线性晶体或II类相位匹配的BiBO非线性晶体。

3.根据权利要求1-2任一项所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述基频光的波长短于1100nm。

4.根据权利要求3所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述第一和频晶体和所述第二和频晶体二者中的一个配置为II类相位匹配的LBO晶体、II类相位匹配的BiBO晶体或II类相位匹配的BBO晶体，所述第一和频晶体和所述第二和频晶体二者中的另一个配置为I类相位匹配的LBO晶体、I类相位匹配的BiBO晶体、I类相位匹配的BBO晶体或I类相位匹配的CLBO晶体，

或，所述第一和频晶体和所述第二和频晶体二者中的一个配置为II类相位匹配的LBO晶体、II类相位匹配的BiBO晶体或II类相位匹配的BBO晶体，所述第一和频晶体和所述第二和频晶体二者中的另一个配置为周期性极化反转的PPLT准相位匹配晶体、周期性极化反转的MgO:PPLT准相位匹配晶体、周期性极化反转的PPSLT准相位匹配晶体或周期性极化反转的MgO:sPPLT准相位匹配晶体。

5.根据权利要求1所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，还包括：

第一聚焦镜，用于对所述基频光进行聚焦并输出至所述倍频晶体，和/或

第二聚焦镜，用于对所述倍频晶体输出的所述第一偏振方向基频光、所述第二偏振方向基频光和所述倍频光进行聚焦，并输出至所述第一和频晶体。

6.根据权利要求5所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述聚焦镜为双凸或平凸的球面透镜、非球面透镜或自聚焦透镜或反射式聚焦镜。