[发明专利]微机电陀螺仪

权利要求书

1.一种微机电陀螺仪，其特征在于，其包含：

多个感测模块，供感测三轴向的角速度；

多个外框，设置于该些感测模块外侧，并分别经一传动元件连接该些感测模块；以及

多个驱动轴，分别设置该些外框之间，该些驱动轴分别经一第一可挠性连接件与一第二可挠性连接件连接该些外框中的二相邻外框；

其中，该些外框受该些驱动轴向内挤压或向外扩张而形成往复运动，且带动其中两感测模块分别沿一第一轴向及一第二轴向往复运动，该第一轴向垂直于该第二轴向。

2.如权利要求1所述的微机电陀螺仪，其中该些感测模块分别包含：

一驱动结构，经该传动元件连接对应的该外框；

一质量块，位于该驱动结构的内侧，经至少一可挠性连接件连接该驱动结构。

3.如权利要求2所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：该传动元件在平行于外框与驱动结构的连接方向刚性较佳，且该传动元件在垂直于外框与驱动结构的连接方向上具可挠性。

4.如权利要求2所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：外框与驱动结构之间设有一抑制件，该抑制件连接外框与驱动结构，该抑制件在平行于外框与驱动结构的连接方向具可挠性，且该传动元件在垂直于外框与驱动结构的连接方向上刚性较佳。

5.如权利要求2所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中该些感测模块分别另包含：

一第一感测元件，设置于该质量块上；以及

一第二感测元件，设置于该质量块上，该第一感测元件与该第二感测元件感测不同轴向的角速度。

6.如权利要求1所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中另包含：

一固定点，该固定点与该些感测模块之间分别设有一耦合件，以提供缓冲空间使该些感测模块能够被驱动以相对该固定点运动。

7.如权利要求1所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：

该些驱动轴的分别形成一延伸部，该延伸部延伸超出二侧相邻的外框，且该延伸部分别连接该第一可挠性连接件与该第二可挠性连接件。

8.如权利要求1所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：

该些驱动轴的不同端面分别延伸出一第一延伸部与一第二延伸部，且该第一延伸部与相邻的外框的距离不同于该第二延伸部相邻的另一外框的距离，该第一延伸部连接该第一可挠性连接件，该第二延伸部连接该第二可挠性连接件。

9.如权利要求1所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：

其中一外框包含一第一边框、一增幅边框与一第二边框，该第一边框的一端为连接该第一可挠性连接件，该第一边框的另一端连接该增幅边框的一端，该增幅边框的另一端连接该第二边框的一端，其中一感测模块经由其中一传动元件连接该增幅边框。

10.如权利要求9所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：

该增幅边框与该传动元件的连接位置位于该第一边框与该第二边框的连线外侧。

11.如权利要求9所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中：

该增幅边框与该传动元件的连接位置位于该第一边框与该第二边框的连线内侧。

12.如权利要求1项所述的微机电陀螺仪，其特征在于，其中更包含:

多个驱动杆件，分别经一第三可挠性连接件与一第四可挠性连接件连接该些个驱动轴，每一驱动杆件经数驱动器致动以沿其径向作动。