[发明专利]电子级氢氟酸的制备方法

权利要求书

1.一种电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将无水氢氟酸输送到缓冲槽中待用；

S2，从所述缓冲槽中输送一定量的无水氢氟酸到投料槽中，再通过重力作用使所述无水氢氟酸流经缓冲塔进入到计量槽中准确计量；

S3，将所述计量槽中的无水氢氟酸以预定速率流经初级过滤器后进入塔釜；

S4，在塔釜中通入55～58℃的热水，采用低温蒸发，得到高纯度无水氢氟酸气体；

S5，将所述高纯度无水氢氟酸气体通入纯化塔中，并通入氧化气体与所述高纯度无水氢氟酸气体反应得到超纯无水氢氟酸气体，从所述纯化塔顶部排出，其中所述氧化气体为氟气和氮气的混合物；

S6，将所述超纯无水氢氟酸气体经冷凝器5～15℃冷凝后，进入调配槽中调整浓度；

其中，步骤S3中，所述塔釜中的液位控制在65～75％；

另外，步骤S5中，所述氧化气体与所述无水氢氟酸的质量比为1:2900～2950，其中，所述氧化气体中氟气和氮气的质量比为1:3～5。

2.如权利要求1中所述电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述缓冲槽中的液位控制在75～85％。

3.如权利要求1中所述电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，在步骤S5中，所述氧化气体与所述无水氢氟酸的质量比为1:2920～2930，其中，所述氧化气体中氟气和氮气的质量比为1:3.5～4.5。

4.如权利要求1中所述电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，在步骤S6中，所述在调配槽中调整浓度的步骤包括：

S61，通入定量超纯水，并打开循环泵开始循环，使其均匀混合，其中，在混合过程中，控制反应温度为50～60℃。

5.如权利要求1中所述电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，在步骤S4中，进一步包括：

S41，将所述塔釜中余料转移到副产品原料槽中，其中，并将含氟废气进一步利用。