[发明专利]一种基于热对流原理的柔性加速度传感器

权利要求书

1.一种基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，包括柔性顶盖(1)、加热元件(3)、若干感温元件(4)、柔性衬底(5)以及测量电路(6)；柔性顶盖(1)和柔性衬底(5)分别采用柔性隔热材料制备而成，所述柔性顶盖(1)和柔性衬底(5)连接，两者之间形成密封腔体(2)；加热元件(3)固定在所述密封腔体(2)内的柔性衬底(5)中央；若干感温元件(4)固定在所述密封腔体(2)内的柔性衬底(5)上，并对称分布在所述加热元件(3)周围，所述感温元件(4)连接测量电路(6)；所述密封腔体(2)内填充有气体或液体。

2.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述柔性顶盖(1)采用的材料为聚二甲基硅氧烷或硅橡胶，并通过浇筑、纳米压印、3D打印方式制备而成。

3.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述感温元件(4)为石墨烯、碳纳米管、铂或金制备而成的导电薄膜，所述导电薄膜通过旋涂、丝网印刷、溅射或喷墨打印方式制备在所述柔性衬底(5)上。

4.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述加热元件(3)为镍铬合金制备而成的导电薄膜，所述导电薄膜通过旋涂、丝网印刷、溅射或喷墨打印方式制备在所述柔性衬底(5)上。

5.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述密封腔体(2)内填充空气或惰性气体，或填充油、水。

6.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述柔性衬底(5)采用的材料为聚酰亚胺或聚氯乙烯，所述加热元件(3)和感温元件(4)均与柔性衬底(5)贴合。

7.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述加热元件(3)和感温元件(4)的端部穿出密封腔体(2)并连接至电极。

8.根据权利要求1所述的基于热对流原理的柔性加速度传感器，其特征在于，所述测量电路(6)为惠斯通电桥，通过测量惠斯通电桥输出电压值的变化，结合比例关系得到加速度的大小。