[发明专利]位移测量装置

说明书

本发明提供一种位移测量装置，用以让用户容易识别包括不具有电子电路的传感器头的位移测量装置的测量状态。位移测量装置(1)包括：传感器头(30)，具有光学系统且不具有电子电路；控制器(100)；第1光纤维，将来自光投射部(10)的照射光传递至传感器头(30)；及第2光纤维，将来自传感器头(30)的反射光传递至控制器(100)。控制部(50)具有：第1模式，对传感器头(30)与反射位置之间的距离进行测量；及第2模式，通过光投射部(10)的光投射状态来表示传感器头(30)与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部。

本申请案是发明名称为“位移测量装置”，申请号为201711360394.1的专利申请案的分案申请。本申请案的母案是基于先前日本专利申请案第2017-048283(于2017年3月14日申请)，并且要求其优先权，其全部内容以参考例揭示于此。本分案申请也要求上述的优先权。

技术领域

本发明是涉及一种位移测量装置。尤其，本发明是涉及一种包括不具有电子电路的传感器头的位移测量装置。

背景技术

作为对测量对象物的表面形状等进行检查的装置，已知有位移测量装置(位移传感器)。例如，日本专利特开2012-208102号公报(专利文献1)揭示利用共焦光学系统来以非接触的方式测量测量对象物的位移的共焦测量装置。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-208102号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在日本专利特开2012-208102号公报(专利文献1)中所记载的共焦测量装置中，传感器头不具有电子电路且传感器头与控制器分离。为了掌握位移测量装置的测量状态，位于传感器头附近的用户需要确认控制器的显示。

例如，在设置传感器头时，为了进行正确的测量，需要调整设置传感器头的位置。位移测量装置可测量的范围可表示为自感测器头的前面的距离的范围。一般而言，制造厂将该范围定义为位移测量装置的规格。本说明书中，将作为位移测量装置可测量的距离的范围而预先规定的范围称为“规定距离范围”。

以放置工件的位置为基准，调整传感器头的设置位置，以使该工件的位置进入规定距离范围内。在用户位于传感器头的附近时，有如下可能性：难以通过自控制器至用户的距离或用户相对于控制器的位置来确认控制器的显示。

本发明的目的在于提供一种用以用户容易识别包括不具有电子电路的传感器头的位移测量装置的测量状态的技术。

[解决问题的技术手段]

依据本发明的某局面的位移测量装置包括：传感器头，具有光学系统且不具有电子电路；控制器；第1光纤维，将来自光投射部的照射光传递至传感器头；以及第2光纤维，将来自传感器头的反射光传递至控制器，所述控制器具有：光投射部，产生照射光；光接收部，接收由传感器头所接收的照射光的反射光；及控制部，基于光接收部的光接收量来算出传感器头与反射光的反射位置之间的距离。控制部具有：第1模式，对传感器头与反射位置之间的距离进行测量；及第2模式，通过光投射部的光投射状态来表示传感器头与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部。规定距离范围定义为位移测量装置可测量的距离的范围。规定距离范围的中央部定义为规定距离范围的中心附近的既定的距离。第1光纤维与第2光纤维可相同。

根据所述构成，可提供一种可实现用户容易识别传感器头与反射位置之间的距离是否处于规定距离范围的中央部的位移测量装置。在第2模式中，用户可通过自传感器头射出的光来确认位移测量装置的测量状态。

优选为：在第2模式中，控制部判断传感器头与反射位置之间的距离是否进入规定距离范围的中央部内，并通过光投射部的光投射状态来表示该判断结果。