[发明专利]一种氮化硅陶瓷微珠批量加工方法

权利要求书

1.一种氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一，粗磨：将氮化硅毛坯珠装入上、下研磨板之间的凹槽内，加入磨削介质进行加工，随着下磨盘转动，上、下研磨盘间的氮化硅陶瓷微珠通过出珠口进入第一存储装置，启动真空泵，依靠其抽力将第一存储装置内的氮化硅陶瓷微珠输入第二存储装置，同时，第二存储装置中存储的氮化硅陶瓷微珠在重力作用下通过进珠口回到上、下研磨板间进行反复循环研磨；

步骤二，细磨：调整上、下研磨板之间的压力和转速，将步骤一得到的氮化硅陶瓷微珠装入上下研磨板之间，加入磨削介质进行加工研磨；

步骤三，精磨：从步骤二得到的氮化硅陶瓷微珠中选择表面无明显加工缺陷的氮化硅陶瓷微珠加入上、下研磨板之间，调整上、下研磨板之间的压力和转速，然后加入磨削介质进行加工研磨；

步骤四，精研：调整上、下研磨板之间的压力和转速，将步骤三得到的氮化硅陶瓷微珠装入上下研磨板之间，加入磨削介质进行加工研磨；

步骤五，超精研：调整上、下研磨板之间的压力和转速，将步骤四得到的氮化硅陶瓷微珠装入上下研磨板之间，加入磨削介质进行加工研磨。

2.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：所述步骤一中，施加的压力为0.8×10KN～1×10KN之间；下研磨盘转速为100-120r/min；磨削介质为质量百分比为17％-20％的油酸钠皂水溶液和质量百分比为2％的食用级苯甲酸钠水溶液的混合溶液；所述磨削介质每加工1批次氮化硅陶瓷微珠加入5-7L，每加工5-8批次更换一次。

3.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：所述步骤二中，施加的压力为0.6×10KN～0.9×10KN之间；下研磨盘转速为80-100r/min；磨削介质为质量百分比为17％-20％的油酸钠皂水溶液和质量百分比为2％的食用级苯甲酸钠水溶液的混合溶液；所述磨削介质每加工1批次氮化硅陶瓷微珠加入4-6L，每加工5-8批次更换一次。

4.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：所述步骤三中，施加的压力为0.4×10KN～0.7×10KN之间；下研磨盘转速为70-80r/min；磨削介质为由金刚石微粉，硬脂酸，油酸及煤油配制得到的W5-W30金刚石研磨膏。

5.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：所述步骤四中，施加的压力为0.3×10KN～0.6×10KN之间；下研磨盘转速为60-70r/min；磨削介质为由金刚石微粉，锂基脂及机油配制得到的W5-W10金刚石研磨膏。

6.根据权利要求5所述的氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：所述步骤五中，施加的压力为0～0.3×10KN之间；下研磨盘转速为50-60r/min；磨削介质为由金刚石微粉，锂基脂及机油配制得到的W5以下金刚石研磨膏。

7.根据权利要求4～6任一项所述的氮化硅陶瓷微珠批量加工方法，其特征在于：所述磨削介质添加频次为每加工1批次氮化硅陶瓷微珠加入5-10g，每8-9h添加一次。