[发明专利]试样板保持器

说明书

一种试样板保持器，在保持器主体(12)内设置有第1弹簧列(34)和第2弹簧列(36)。在保持器主体(12)内最大能设置3个试样板(16、18)。虽然各试样板(16、18)受到来自第1弹簧列34和第2弹簧列36的上推力，但各试样板(16、18)向上方的运动被盖(14)的内表面(14A)限制。

技术领域

本发明涉及试样板保持器，特别是涉及扫描式电子显微镜(Scanning electronmicroscope)中使用的试样板保持器。

背景技术

在扫描式电子显微镜的试样室的内部设置有可动载台。在该可动载台上搭载有放置了作为观察对象的试样(Sample)的保持器(Holder)。在载玻片(Slide glass)等试样板(Sample plate)上设置有试样的情况下，如果将该试样板整体设置到试样室的内部，会很方便进行试样的观察。特别是，期待能够将多个试样板设置到试样室的内部，连续地观察多个试样。为此需要实现专用保持器。此外，提供了厚度不同的多种试样板。

在特开2015-159236号公报中公开了设置到带电粒子束描绘装置的保持器。该保持器是保持1片玻璃基板的保持器，从玻璃基板的下方给予玻璃基板上推力。

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于实现能保持多个试样板的试样板保持器。或者，本发明的目的在于实现如下试样板保持器：无论试样板的厚度如何，都会在使其上表面水平高度与基准水平高度一致的同时保持试样板。

用于解决问题的方案

本发明的试样板保持器的特征在于，包含：保持器主体，其具有收纳空间，上述收纳空间能收纳在x方向上排列的m(其中，m为2以上的整数)个试样板；第1上推元件列，其在上述收纳空间内设置于与上述x方向正交的y方向的一侧，包括在上述x方向上排列的多个上推元件；第2上推元件列，其在上述收纳空间内设置于上述y方向的另一侧，包括在上述x方向上排列的多个上推元件；以及盖，其覆盖上述收纳空间并且使上述收纳空间中的试样区域露出，在上述收纳空间中收纳有上述m个以下的试样板的状态下，由上述第1上推元件列和上述第2上推元件列给予上述各试样板上推力，从而上述各试样板的上表面被按压于上述盖的内表面。

根据上述构成，1个或多个试样板被收纳于保持器主体的收纳空间，1个或多个试样板被盖覆盖。在实施方式中，盖在闭合状态下具有水平姿势，其内表面构成水平面。在盖的闭合状态下，虽然各试样板受到来自第1上推元件列和第2上推元件列的上推力，但各试样板向上方的运动被盖限制。此时，各试样板的上表面的水平高度(Level)会与盖的内表面的水平高度一致，也就是与基准水平高度一致。无论要保持的各试样板的厚度如何，各试样板的上表面的水平高度都会自然与基准水平高度一致。从而，在显微镜的观察时，无需改变或大幅改变聚焦深度就能依次观察多个试样。

在实施方式中，上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分别由独立进行动作的m个以上的上推元件构成。各个上推元件能由弹簧、弹性构件等构成。由于各个试样板的一侧端部和另一侧端部这两者被施加上推力，因此，各个试样板的姿势会稳定化。在实施方式中，从上方来看，在避开了可能会存在试样的试样区域的位置，具体来说是在试样区域的两侧，设置有第1上推元件列和第2上推元件列。

在实施方式中，上述m为3，上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分别由m×n(其中，n为1以上的整数)个上推元件构成。例如，n为2。在这种情况下，各上推元件列由6个上推元件构成，优选它们以均等间隔配置。

在实施方式中，试样板保持器包含：铰接部，其使上述盖相对于上述保持器主体进行开闭运动；以及锁定机构，其在上述盖处于闭合状态的情况下，将上述盖相对于上述保持器主体锁定。根据该构成，能够在盖处于闭合姿势的情况下防止其上浮。