[发明专利]试样板保持器在审

专利信息
申请号: 202010882849.1 申请日: 2020-08-28
公开(公告)号: CN112444531A 公开(公告)日: 2021-03-05
发明(设计)人: 阿部圣;村上雄大;阿部修平 申请(专利权)人: 日本电子株式会社
主分类号: G01N23/2204 分类号: G01N23/2204;H01J37/20;H01J37/28
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝;刘宁军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 试样 保持
【权利要求书】:

1.一种试样板保持器,其特征在于,

包含:

保持器主体,其具有收纳空间,上述收纳空间能收纳在x方向上排列的m个试样板,其中,m为2以上的整数;

第1上推元件列,其在上述收纳空间内设置于与上述x方向正交的y方向的一侧,包括在上述x方向上排列的多个上推元件;

第2上推元件列,其在上述收纳空间内设置于上述y方向的另一侧,包括在上述x方向上排列的多个上推元件;以及

盖,其覆盖上述收纳空间并且使上述收纳空间中的试样区域露出,

在上述收纳空间中收纳有上述m个以下的试样板的状态下,由上述第1上推元件列和上述第2上推元件列给予上述各试样板上推力,从而上述各试样板的上表面被按压于上述盖的内表面。

2.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分别由独立进行动作的m个以上的上推元件构成。

3.根据权利要求2所述的试样板保持器,其特征在于,

上述m为3,

上述第1上推元件列和上述第2上推元件列分别由m×n个上推元件构成,其中,n为1以上的整数。

4.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,包含:

铰接部,其使上述盖相对于上述保持器主体进行开闭运动;以及

锁定机构,其在上述盖处于闭合状态的情况下,将上述盖相对于上述保持器主体锁定。

5.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

上述保持器主体具有:

第1侧壁,其设置在上述y方向的一端;以及

第2侧壁,其设置在上述y方向的另一端,

上述第1侧壁的上表面和上述第2侧壁的上表面规定基准水平高度,

在上述盖的闭合状态下,上述盖的内表面碰到上述第1侧壁的上表面和上述第2侧壁的上表面,从而上述各板的上表面水平高度与基准水平高度一致。

6.根据权利要求5所述的试样板保持器,其特征在于,

在上述第1侧壁设置有第1标尺,

在上述第2侧壁设置有第2标尺。

7.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

上述各试样板具有透明性,

在上述收纳空间的底面设置有具有抑制光反射的作用的背景面。

8.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

在上述保持器主体和上述盖中的至少一方设置有向收纳于上述收纳空间的上述m个以下的试样板的上表面吹送气体的流路结构。

9.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

上述盖具有观察窗,

在上述观察窗设置有导电性网格。

10.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

上述保持器主体和上述盖由导电性材料构成,

在上述保持器主体和上述盖中的一方设置有用于施加电压的端子,

在上述保持器主体设置有与可动载台结合的由绝缘性材料构成的卡合块。

11.根据权利要求1所述的试样板保持器,其特征在于,

在上述盖设置有1个或多个定位用标记。

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