[发明专利]一种电子级硫酸的制备工艺

说明书

本发明提供一种电子级硫酸的制备工艺，涉及化工产品制备技术领域。该电子级硫酸的制备工艺，包括以下步骤：S1.首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾，然后将除雾处理后的气体通入到吸收塔内；S2.打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水，超纯水将三氧化硫气体吸收生成高纯硫酸溶液，然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内；S3.将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却，冷却后的硫酸再次回到吸收塔内吸收三氧化硫气体。本发明提供一种电子级硫酸的制备工艺，该方法耗能以及成本都比较低，并且拥有较高的杂质去除率，同时制备的过程中生成的污染气体大部分都被处理干净，对环境产生的污染很小，非常适合大规模生产。

技术领域

本发明涉及化工产品制备技术领域，具体为一种电子级硫酸的制备工艺。

背景技术

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净的关键基础化学试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片.上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。

目前，中国已成为世界IT工业和液晶显示器(LCD)需求增长最快的国家,中国优势企业的竞争力正在不断增强,长期成长空间巨大,已成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。而与之配套的超净高纯试剂的需求也是逐步增加,电子级硫酸的消耗量约占高纯试剂总量的30％,电子级硫酸的市场需求前景广阔。

目前，中国电子级硫酸的生产一般采用精馏法，常压精馏的温度高达330C,对设备材质要求较高；减压精馏的温度为175～190C,压力为1.33～2.67kPa。精馏法能耗大，成本高，有些杂质难以除去,产生的废气、酸雾对人体有害,不利于环境保护，只适合于小规模生产。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种电子级硫酸的制备工艺，解决了现有技术能耗大，成本高，有些杂质难以除去,产生的废气、酸雾对人体有害,不利于环境保护，只适合于小规模生产的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种电子级硫酸的制备工艺，包括以下步骤：

S1.首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾，然后将除雾处理后的气体通入到吸收塔内；

S2.打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水，超纯水将三氧化硫气体吸收生成高纯硫酸溶液，然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内；

S3.将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却，冷却后的硫酸再次回到吸收塔内吸收三氧化硫气体，使得高纯硫酸浓度继续提升，然后再次流入到混合槽内，这一过程一直保持循环，直到混合槽液位上升至指定溢流口，高纯度硫酸溢流至曝气塔；

S4.打开曝气塔氮气阀门，在曝气塔内通入高压高纯氮气，高压高纯氮气对硫酸溶液进行吹脱，去除其中的二氧化硫气体，去除掉二氧化硫气体的硫酸进入成品储槽存放；

S5.将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤，然后将过滤后的硫酸进行充填处理得到电子级硫酸；

S6.吸收塔尾气通入尾气吸收塔，即一级水洗塔，然后向尾气吸收塔内通入超纯水，尾气中的三氧化硫经被超纯水洗涤下来，生成硫酸，流到副产品槽内；

S7.将尾气吸收塔内处理过的气体以及其他尾气通入到二级水洗塔内，向二级水洗塔内加入双氧水，双氧水与尾气中二氧化硫反应成硫酸，排放到副产品槽；

S8.将副产品槽内的硫酸经过充填处理得到工业级硫酸；