[发明专利]一种电子级硫酸的制备工艺

权利要求书

1.一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：包括以下步骤：

S1.首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾，然后将除雾处理后的气体通入到吸收塔内；

S2.打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水，超纯水将三氧化硫气体吸收生成高纯硫酸溶液，然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内；

S3.将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却，冷却后的硫酸再次回到吸收塔内吸收三氧化硫气体，使得高纯硫酸浓度继续提升，然后再次流入到混合槽内，这一过程一直保持循环，直到混合槽液位上升至指定溢流口，高纯度硫酸溢流至曝气塔；

S4.打开曝气塔氮气阀门，在曝气塔内通入高压高纯氮气，高压高纯氮气对硫酸溶液进行吹脱，去除其中的二氧化硫气体，去除掉二氧化硫气体的硫酸进入成品储槽存放；

S5.将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤，然后将过滤后的硫酸进行充填处理得到电子级硫酸；

S6.吸收塔尾气通入尾气吸收塔，即一级水洗塔，然后向尾气吸收塔内通入超纯水，尾气中的三氧化硫经被超纯水洗涤下来，生成硫酸，流到副产品槽内；

S7.将尾气吸收塔内处理过的气体以及其他尾气通入到二级水洗塔内，向二级水洗塔内加入双氧水，双氧水与尾气中二氧化硫反应成硫酸，排放到副产品槽；

S8.将副产品槽内的硫酸经过充填处理得到工业级硫酸；

S9.将二级水洗塔内处理过的尾气通入一级碱洗塔，向一级碱洗塔内通入NaOH溶液，处理后产生的废水通入工厂的废水处理站，处理后产生的废气高空排放。

2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S2中的向吸收塔内通入超纯水的流量控制在150-200kg/h。

3.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述吸收塔内的液位控制在80％-90％。

4.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S4中向曝气塔中通入的氮气的压力为3kg/cm³。

5.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S7中的其他尾气包括混合槽、成品储槽、副产品槽以及充填过程生成的硫酸雾，还包括曝气塔产生的氮气和二氧化硫气体。

6.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S7中的双氧水溶液中H₂O和H₂O₂的的比例为1：8。

7.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，其特征在于：所述步骤S9中的NaOH溶液中NaOH和H₂O的比例为1：1152。