[发明专利]一种等离子体处理装置及气体供应方法

权利要求书

1.一种等离子体处理装置的气体供应方法，所述等离子体处理装置包括一反应腔，所述反应腔内设置用于支撑基片的基座，一气体供应装置向所述反应腔内输送反应气体，所述气体供应装置包含一气体总管道和对所述气体总管道进行气体分流的多路气体分流输送管路，其特征在于，该方法包含以下步骤：

在所述多路气体分流输送管路上分别设置一流量控制阀，并将多个所述流量控制阀的流量系数和电信号的对应关系存储到一控制器内；

设定多路气体分流输送管路的目标气体流量的比例关系，所述控制器根据多路气体分流输送管路的目标气体流量的比例关系输送对应的电信号至所述流量控制阀，以调节每个流量控制阀的阀开度，控制多路分流输送管路上的气体流量。

2.如权利要求1所述的气体供应方法，其特征在于，

在气体分流输送管路的输入端的第一压力与最大目标气体流量所在的气体分流输送管路上的流量控制阀的输出端的第二压力满足预设条件时，确定出各个流量控制阀的最大阀开度和/或最小阀开度；

最大目标气体流量所在的气体分流输送管路上的流量控制阀作为第一参考阀，最小目标气体流量所在的气体分流输送管路上的流量控制阀作为第二参考阀；

根据所述对应关系以及第一参考阀的最大阀开度和/或第二参考阀的最小阀开度，获得各个流量控制阀的电信号，并由所述控制器输送对应大小的电信号至多个所述流量控制阀，控制所述多路分流输送管路上的气体流量。

3.如权利要求2所述的气体供应方法，其特征在于，

所述预设条件包含：第一压力大于或等于2倍的第二压力。

4.如权利要求3所述的气体供应方法，其特征在于，

多个流量控制阀的流量系数的比例关系与所述目标气体流量的比例关系一致。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的气体供应方法，其特征在于，获取所述对应关系的方法包含以下步骤：

固定多路气体分流输送管路的输入端的压力；

通过调节施加在流量控制阀的电信号的大小以改变流量控制阀的阀开度，并测量流量控制阀的流量；

计算得出流量控制阀的流量系数，从而得到在该一定的气体分流输送管路的输入端的压力时输送至流量控制阀的电信号与流量系数之间的对应关系。

6.如权利要求4所述的气体供应方法，其特征在于，

所述获得各个流量控制阀的电信号的方法包含第一过程，所述第一过程包含以下：

所述控制器将所述第一参考阀开到其最大阀开度并得到第一参考阀在该最大阀开度时的电信号；

根据所述第一参考阀的电信号和所述对应关系，获得第一参考阀的开到最大阀开度时的流量系数，并根据所述目标气体流量的比例关系得到其他流量控制阀的流量系数；

根据所述对应关系获得其他流量控制阀需要由控制器施加的电信号；

和/或，所述获取各个流量控制阀的电信号的方法包含第二过程，所述第二过程包含以下：

所述控制器将所述第二参考阀开到其最小阀开度并得到第二参考阀在该最小阀开度时的电信号；

根据所述第二参考阀的电信号和所述对应关系，获得第二参考阀的开到最小阀开度时的流量系数，并根据所述目标气体流量的比例关系得到其他流量控制阀的流量系数；

根据所述对应关系获得其他流量控制阀需要由控制器施加的电信号。

7.如权利要求6所述的气体供应方法，其特征在于，

包含第三过程，所述第三过程包含以下：

执行所述第一过程后，当所述其他流量控制阀中的第二参考阀由控制器施加相应大小的电信号而达到的阀开度小于该第二参考阀的最小阀开度时，则重新执行所述第二过程。

8.如权利要求6所述的气体供应方法，其特征在于，

包含第四过程，所述第四过程包含以下：

执行所述第一过程后，当第一压力小于2倍的第二压力时，按照流量系数的比例关系同步降低各个流量控制阀的流量系数，直至第一压力不小于2倍的第二压力时结束或者在第二参考阀的阀开度降低到其最小阀开度时结束。