[发明专利]一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置

权利要求书

1.一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，包括测试主机(10)、测试连接线缆(9)、液冷板(4)、加压装置底座(6)、加压装置支架(5)、加压装置(2)、加压头(3)、一体化热阻测试工装(1)和制冷机(7)，

加压装置底座(6)为平板结构，加压装置支架(5)为L型支架；加压装置支架(5)顶部固定加压装置(2)，加压装置(2)与加压装置底座(6)垂直安装，通过加压头(3)对待测器件提供压力，保证器件与一体化热阻测试工装(1)散热表面紧密接触；加压头(3)与待测器件不发生热交换；

测试连接线缆(9)为待测器件提供加热功率输出，采集待测器件温度敏感参数，并传给测试主机(10)；

制冷机(7)为可控温制冷设备，将冷却液控制在规定温度，通过冷却液进出管道流入到液冷板(4)，对液冷板温度进行控制；

液冷板(4)内部加工液冷换热槽道，并设置有液冷进出接口。

2.如权利要求1所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，制冷机可将冷却液温度控制在15℃～200℃之间，以满足不同测试器件的需求。

3.如权利要求1所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，一体化热阻测试工装(1)包括电极伸缩装置(11)、温度传感器(12)、散热块(15)和电极接口(16)，

散热块(15)为正方形，为一体化热阻测试工装(1)的支持结构，为待测器件提供散热路径，作为待测器件一个电极的供电和测量通道；

电极伸缩装置(11)与电极接口(16)安装在散热块(15)内部，电极伸缩装置(11)从散热块上表面露出，电极接口(16)从散热块侧面引出，与测试连接线缆(9)连通，为待测器件电极提供电流、接收测量信号；

温度传感器(12)安装在散热块(15)内部，从散热块(15)上表面露出，用于待测器件壳温测量。

4.如权利要求3所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，温度传感器(12)包括K型热电偶(121)、热电偶固定环(123)、弹簧(124)和弹簧固定片(125)，散热块(15)内部根据热电偶(121)直径、热电偶固定环(123)直径、弹簧固定片(125)直径开不同直径的圆柱，保证零件能安装到散热块(15)内部。

5.如权利要求4所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，K型热电偶(121)其端头为熔化连接，直径小于0.8mm。

6.如权利要求4所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，热电偶固定环(123)为中间带通孔的聚酰亚胺圆柱体，热电偶头部穿过通孔后露出，与热电偶导线之间使用胶粘剂连接，保持相对位置不发生移动。

7.如权利要求4所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，弹簧(124)用于为热电偶固定环(123)提供弹力，保证热电偶(121)与器件接触时具有一定压力。

8.如权利要求4所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，弹簧固定片(125)为聚酰亚胺材料，与散热块(15)之间连接，固定弹簧(124)，保证热电偶(121)露出散热块(15)上表面。

9.如权利要求3所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，电极伸缩装置(11)包括电极(111)、电极弹簧(113)和下固定片(114)，

电极(111)整体形状为L型，L型短边为圆柱形，用于和待测器件电极接触，L型长边为矩形，用于将电极从散热块(15)顶面引出到侧面，便于和测试连接电缆(9)之间的固定连接；

电极(111)L型长边上开圆形浅槽，用于安装电极弹簧(113)，下固定片(114)与散热块(15)之间连接，保证电极(111)在受到外部压力时能灵活升降。

10.如权利要求1所述的一种基于静态测量法的功率模块热阻测试装置，其特征在于，加压装置(2)产生的压力在0～100N之间。