[发明专利]一种触觉传感及反馈基板及其制造方法设备

权利要求书

1.一种触觉传感及反馈基板，其特征在于，包括：

电极层、柔性介质层和压电材料层；

所述电极层包括第一电极层和第二电极层，第一电极层中的各个电极单元均按照预定阵列分布式布置，第二电极层中的各个电极单元的位置及类型均与第一电极层中各个电极单元一一对应设置，其中，所述电极单元的类型至少包括：传感电极单元和反馈电极单元；

所述压电材料层包括第一压电材料层和第二压电材料层，第一压电材料层设置在第一电极层和柔性介质层的第一面之间，第二压电材料层设置在第二电极层和柔性介质层的第二面之间。

2.如权利要求1所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，

所述传感电极单元和所述反馈电极单元在所述预定阵列中依次相邻设置。

3.如权利要求1所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，

所述柔性介质层上设置有多个贯穿所述柔性介质层的通孔结构，每个所述通孔结构均设置在一个所述反馈电极单元的对应位置，所述通孔结构的开孔表面积与所述反馈电极单元的表面积相同。

4.如权利要求1所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，所述电极层由外到内依次包括：

衬底层，在所述衬底层上按照阵列式分布设置的电极单元，在部分电极单元上设置的无机绝缘层，其中，所述设置有无机绝缘层的电极单元为传感电极单元。

5.如权利要求4所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，所述衬底层的材料为柔性绝缘材料，所述电极单元的材料为透明导电材料，所述无机绝缘层的材料。

6.如权利要求4所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，

在所述第一电极层的所述衬底层和各个所述电极单元之间设置有第一导线，在所述第二电极层的所述衬底层和各个所述电极单元之间设置有第二导线，其中，所述第一导线和所述第二导线在同一水平面上的投影相互垂直。

7.如权利要求1至6中任一项所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，同一电极层中相邻的各个电极单元均按照预定间隔布置。

8.如权利要求1至6中任一项所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，预定阵列至少包括以下之一：矩形阵列，圆周环形阵列。

9.一种触觉传感及反馈基板的制造方法，用于制造权利要求1至8中任一项所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，包括：

将两层压电材料薄膜分别放置在柔性介质层的第一面和第二面，将一个电极层和另一个电极层分别与每层压电材料薄膜接触，通过胶压合方式进行机械压合，以生成触觉传感及反馈基板。

10.如权利要求9所述的制造方法，其特征在于，还包括：

用喷涂的方式在玻璃基底上喷涂一层液态衬底材料，固化已喷涂的所述液态衬底材料；

在已固化的衬底层上溅射一层电极材料，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式得到各个电极单元；

通过CVD工艺在具有各个电极单元的衬底层上生成一层无机绝缘层，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式刻蚀掉部分电极单元上的无机绝缘层，以形成所述电极层。