[发明专利]包括考虑样本内光学路径长度变化的光学检查系统和方法

说明书

本申请涉及包括考虑样本内光学路径长度变化的光学检查系统和方法。照明器/收集器组件可将入射光递送到样本并且收集从样本返回的返回光。传感器可根据所收集的返回光的光线位置和光线角度来测量光线强度。光线选择器可从传感器处的所收集的返回光选择满足第一选择标准的第一子组光线。在一些示例中，该光线选择器可将光线强度聚合成箱，每个箱对应于所收集的返回光中的在样本内穿过相应光学路径长度范围内的估计光学路径长度的光线。表征器可基于第一子组光线的光线强度、光线位置和光线角度来确定样本的物理属性诸如吸收率。考虑在样本内穿过的光学路径长度的变化可改善准确性。

本申请是申请日为2015年12月22日、申请号为201580065101.X、名称为“包括考虑样本内的光学路径长度的变化的光学检查系统和方法”的发明专利申请的分案申请。

相关申请的交叉引用

本申请要求标题为“OPTICAL INSPECTION SYSTEM AND METHOD INCLUDINGACCOUNTING FOR VARIATIONS OF OPTICAL PATH LENGTH WITHIN A SAMPLE”并且提交于2014年12月23日的美国临时专利申请62/096,276的权益，该美国临时专利申请据此全文以引用方式并入本文。

技术领域

本公开涉及一种用于对样本进行光学表征的光学检查系统，其能够考虑到样本内的光学路径长度的变化。

背景技术

许多光学检查系统将光递送到样本，收集从样本反射或散射的光，并且使用所收集的光来分析样本的一部分。可能期望改善这些光学检查系统。

发明内容

照明器/收集器组件可将入射光递送到样本并且收集从样本返回的返回光。传感器诸如Shack-Hartmann传感器可根据所收集的返回光的光线位置和光线角度来测量光线强度。光线选择器可从传感器处的所收集的返回光选择满足第一选择标准的第一子组光线。在一些示例中，光线选择器可将光线聚合成分箱信号，每个分箱信号对应于所收集的返回光中的在样本内穿过相应光学路径长度范围内的估计光学路径长度的光线。表征器可基于第一子组光线的光线强度、光线位置和光线角度来确定样本的物理属性诸如吸收率。考虑在样本内穿过的光学路径长度的变化可改善准确性。

附图说明

在附图中，相同标号可在不同视图中描述类似部件，其中附图未必按比例绘制。具有不同字母后缀的相同标号可表示类似部件的不同示例。附图通过举例而不是通过限制来大体示出本文档中所论述的各种示例。

图1示出根据一些实施方案的用于对样本进行光学表征的光学检查系统的示例。

图2示出根据一些实施方案的光学检查系统的示例中的入射光学路径的一部分。

图3示出根据一些实施方案的光学检查系统的示例中的返回光学路径的一部分。

图4A、4B和4C是根据一些实施方案的图3的返回光学路径中的三条光线的各个视图。

图5示出根据一些实施方案的从照明器/收集器组件追踪到微透镜阵列再到检测器的图4A、4B和4C的光线。

图6示出根据一些实施方案的来自图5的检测器的端视图。

图7示出根据一些实施方案的邻近图6的检测器设置的遮罩的示例的端视图。

图8示出根据一些实施方案的用于对样本进行光学表征的方法的示例的流程图。

具体实施方式

光学检查系统可将光递送到样本，收集从样本反射或散射的光，使用所收集的光来确定样本的物理属性，诸如吸收率或折射率。对于高吸收或散射性样本，高吸收或散射可降低传播穿过样本的一部分的光线的强度。强度的这种降低可明显取决于在样本内穿过的光学路径长度。