[发明专利]包括考虑样本内光学路径长度变化的光学检查系统和方法

权利要求书

1.一种用于对样本进行光学表征的光学检查系统，所述光学检查系统包括：

一个或多个照明源，所述一个或多个照明源被配置为将入射光递送到取样界面；

收集器，所述收集器被配置为收集从所述样本返回的光，以形成所收集的返回光；

传感器，所述传感器测量所收集的返回光，其中所述传感器生成指示所测量的所收集的返回光的光线强度、光线位置和光线角度的多个信号，其中所述光线位置是所收集的返回光在所述传感器处的位置，并且所述光线角度是所收集的返回光在所述传感器处的角度；以及

计算机，所述计算机包括表征器，所述表征器被配置为：

向所述多个信号指派权重；以及

基于加权的信号中的至少一些来确定所述样本的物理属性。

2.根据权利要求1所述的光学检查系统，还包括遮罩，所述遮罩包括：

用于阻断所收集的返回光中的一个或多个光线的阻断部分，以及

用于允许所收集的返回光的一个或多个光线通过的透射部分。

3.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述传感器包括多个区域，其中向所述多个信号指派不同的权重包括向与所述传感器的不同区域对应的信号指派不同的权重。

4.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述计算机还被配置为：

在确定物理属性时包括所述多个信号中的第一信号，其中第一信号与一个或多个第一权重相关联，以及

在确定物理属性时排除所述多个信号中的第二信号，其中第二信号与一个或多个第二权重相关联，所述一个或多个第二权重小于所述一个或多个第一权重。

5.根据权利要求4所述的光学检查系统，其中所述第一信号与一个或多个第一光学路径长度相关联，并且所述第二信号与不同于所述第一光学路径长度的一个或多个第二光学路径长度相关联。

6.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中：

所指派的权重与所收集的返回光的光学路径长度的分布的宽度成反比变化；以及

所指派的权重随所收集的返回光的光学路径长度的分布的宽度的增加而减小。

7.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述传感器包括多个检测器像素，并且所述计算机还包括查找表，所述查找表具有将所述多个检测器像素映射到一个或多个光学路径长度的条目。

8.一种用于对样本进行光学表征的方法，所述方法包括：

使用一个或多个照明源将入射光递送到取样界面；

使用收集器收集从所述取样界面返回的光；

生成指示所收集的返回光的光线强度、光线位置和光线角度的多个信号，其中所述光线位置是所收集的返回光在传感器处的位置，并且所述光线角度是所收集的返回光在所述传感器处的角度；

向所述多个信号指派权重；以及

基于加权的信号中的至少一些来确定所述样本的物理属性。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括：

确定所收集的返回光的一个或多个光学路径长度；

基于所述一个或多个光学路径长度确定所述样本的吸收系数。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述传感器包括多个检测器像素，所述方法还包括将所述多个检测器像素与多个箱相关联，其中每个箱对应于光学路径长度的独特范围。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述多个箱还与所述多个信号相关联，并且不同箱的信号被指派不同的权重。