[发明专利]一种化学机械研磨机上的排水管道

权利要求书

1.一种化学机械研磨机上的排水管道，包括第一排水管(1)和第二排水管(2)，其特征在于：第一排水管(1)和第二排水管(2)之间设有U型的连接管(3)，连接管(3)由U型的上连接半管(31)和下连接半管(32)组成，上连接半管(31)和下连接半管(32)的两端分别成型有水平的上延伸半管(311)和下延伸半管(321)，上延伸半管(311)的外端成型有圆环形的插管(313)；所述上连接半管(31)和上延伸半管(311)两侧的下端面上成型有插条(312)，下连接半管(32)和下延伸半管(321)两侧的上端面上成型有插槽(322)，上连接半管(31)和上延伸半管(311)上的插条(312)分别插接在下连接半管(32)和下延伸半管(321)的插槽(322)内；所述插管(313)的内壁上成型有贯穿插管(313)外端面的插孔(314)，第一排水管(1)和第二排水管(2)插接在插管(313)的插孔(314)内；所述插管(313)的外壁上插套固定有外螺纹套(4)，外螺纹套(4)上螺接有内螺纹套(5)，内螺纹套(5)一端的内壁上粘贴固定有橡胶密封套(7)，橡胶密封套(7)压靠在上延伸半管(311)、下延伸半管(321)和插管(313)的外壁上；内螺纹套(5)另一端相对的内壁上成型有导向槽(51)，所述的第一排水管(1)和第二排水管(2)上均插套固定有定位套(6)，定位套(6)的外壁上成型有导向条(61)，导向条(61)插接在内螺纹套(5)的导向槽(51)内。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述下延伸半管(321)的外端面抵靠在插管(313)的侧端面上并成型有连通下延伸半管(321)插槽(322)两侧的密封槽，下延伸半管(321)上的密封槽和插槽(322)和下连接半管(32)的插槽(322)内插接有密封环(9)，密封环(9)夹持在上连接半管(31)和下连接半管(32)之间。

3.根据权利要求2所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述上连接半管(31)的外壁和下连接半管(32)的外壁在同一圆面内，下延伸半管(321)的外壁和上延伸半管(311)的外壁在同一圆面内；上连接半管(31)两侧的下端面抵靠在下连接半管(32)两侧的上端面上。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述内螺纹套(5)的长度大于外螺纹套(4)的长度，外螺纹套(4)和橡胶密封套(7)之间设有间隙。

5.根据权利要求4所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述外螺纹套(4)的外侧端面和插管(313)的外侧端面相齐平，外螺纹套(4)的长度小于插管(313)的长度。

6.根据权利要求5所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述外螺纹套(4)和橡胶密封套(7)之间的间距大于橡胶密封套(7)内端面至下延伸半管(321)外端面的距离。

7.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述插管(313)的插孔(314)内插接有密封垫圈(8)，密封垫圈(8)夹持在插管(313)与第一排水管(1)之间或插管(313)与第二排水管(2)之间。

8.根据权利要求7所述的一种化学机械研磨机上的排水管道，其特征在于：所述插管(313)的内管径等于第一排水管(1)或第二排水管(2)的内管径。