[发明专利]存水装置及废气处理系统

说明书

本发明实施例提供一种存水装置及废气处理系统，存水装置包括：蓄水腔和进水口，所述进水口用于向所述蓄水腔内送入溶液，所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液，所述蓄水腔内具有粘性物质；导杆和可沿所述导杆移动的浮动装置，所述浮动装置可随所述蓄水腔内的水位变化移动，移动至所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质可阻碍所述浮动装置移动；水幕套壳，所述水幕套壳与所述进水口连接，所述水幕套壳用于分流部分由所述进水口送入的所述溶液，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。本发明有利于在保证浮动装置的正常运行的基础上，降低存水装置的用水需求。

技术领域

本发明实施例涉及废气处理领域，特别涉及一种存水装置及废气处理系统。

背景技术

半导体炉管工艺中存在多步ALD-NIT制程，该类制程会产生大量气体副产物。目前通常通过燃烧和冷却处理该类气体副产物，使其形成固体副产物存于废气处理系统中，并通过水溶液进行冲洗处理。而用于冲洗制程副产物的水溶液在经过处理之后送入存水装置进行循环使用。当循环次数达到一定目标时，该类水溶液会直接排入到厂务端，并通过特殊处理进行排出。废气处理系统内存水装置会补充新的水溶液。

由于燃烧不充分和处理不充分等原因，送入存水装置的水溶液中通常包含有部分残余的制程副产物，这部分制程副产物可能会影响存水装置的正常运行，进而导致水循环失败，甚至导致整个废气处理系统宕机。

发明内容

本发明实施例提供一种存水装置及废气处理系统，有利于在保证浮动装置正常运行的基础上，降低存水装置的用水需求。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种存水装置，包括：蓄水腔和进水口，所述进水口用于向所述蓄水腔内送入溶液，所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液，所述蓄水腔内具有粘性物质；导杆和可沿所述导杆移动的浮动装置，所述浮动装置可随所述蓄水腔内的水位变化移动，移动至所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质可阻碍所述浮动装置移动；水幕套壳，所述水幕套壳与所述进水口连通，所述水幕套壳用于分流部分由所述进水口送入的所述溶液，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。

另外，所述存水装置还包括第一区域和第二区域，所述水幕套壳包括第一套壳和第二套壳，所述第一套壳分流的溶液用于冲洗所述第一区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质，所述第二套壳分流的溶液用于冲洗所述第二区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。通过设置多个套壳，缩小每一套壳所需冲洗的区域，保证每一套壳能够有效冲洗指定区域，进而保证粘附于导杆上的粘性物质能够被有效冲洗。

另外，所述蓄水腔具有低水位线和高水位线，所述第一区域包括所述高水位线，所述第二区域包括所述低水位线，所述浮动装置包括第一浮动装置和第二浮动装置，所述第一浮动装置在所述第一区域内移动，所述第二浮动装置在所述第二区域内移动。设置位于不同区域的多个浮动装置，有利于保证在水位下降速率或上升速度大于浮动装置的移动速率时，浮动装置与溶液水平面到达同一水平线的时间差较短，即任一时刻浮动装置与溶液水平面的高度差较小，浮动装置的位置状态能够有效反映水位情况。

另外，存水装置还包括：警示模块，所述警示模块用于在所述浮动装置处于所述低水位线或所述高水位线时，发出警示信息。

另外，从所述水幕套壳内流出的所述溶液沿重力方向流动。由于溶液能够受重力下落，因此无需提供较大的溶液流量就能够冲洗粘性物质，如此，在进水口的流量较小时，也能够实现冲洗目的。

另外，所述水幕套壳套设于所述导杆与所述浮动装置之间，所述浮动装置沿所述水幕套壳移动，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗粘附于所述水幕套壳上的所述粘性物质。