[发明专利]存水装置及废气处理系统有效

专利信息
申请号: 202010730709.2 申请日: 2020-07-27
公开(公告)号: CN113996130B 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 侯小明星;林逸民 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: B01D47/06 分类号: B01D47/06;B01D35/027;B08B3/02
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 装置 废气 处理 系统
【权利要求书】:

1.一种存水装置,其特征在于,包括:

蓄水腔和进水口,所述进水口用于向所述蓄水腔内送入溶液,所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液,所述蓄水腔内具有粘性物质;

导杆和可沿所述导杆移动的浮动装置,所述浮动装置可随所述蓄水腔内的水位变化移动,移动至所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质可阻碍所述浮动装置移动;

水幕套壳,所述水幕套壳与所述进水口连通,所述水幕套壳用于分流部分由所述进水口送入的所述溶液,所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。

2.根据权利要求1所述的存水装置,其特征在于,还包括:第一区域和第二区域,所述水幕套壳包括第一套壳和第二套壳,所述第一套壳分流的溶液用于冲洗所述第一区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质,所述第二套壳分流的溶液用于冲洗所述第二区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。

3.根据权利要求2所述的存水装置,其特征在于,所述蓄水腔具有低水位线和高水位线,所述第一区域包括所述高水位线,所述第二区域包括所述低水位线,所述浮动装置包括第一浮动装置和第二浮动装置,所述第一浮动装置在所述第一区域内移动,所述第二浮动装置在所述第二区域内移动。

4.根据权利要求3所述的存水装置,其特征在于,还包括:警示模块,所述警示模块用于在所述浮动装置处于所述低水位线或所述高水位线时,发出警示信息。

5.根据权利要求1所述的存水装置,其特征在于,从所述水幕套壳内流出的所述溶液沿重力方向流动。

6.根据权利要求1所述的存水装置,其特征在于,所述水幕套壳套设于所述导杆与所述浮动装置之间,所述浮动装置沿所述水幕套壳移动,所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗粘附于所述水幕套壳上的所述粘性物质。

7.根据权利要求5或6所述的存水装置,其特征在于,所述水幕套壳包括固定套壳和环绕套壳,所述固定套壳用于固定在所述导杆上,所述环绕套壳环绕于所述固定套壳,所述固定套壳和所述环绕套壳之间具有第一间隙,所述溶液通过所述第一间隙流出并对粘附在所述水幕套壳上的所述粘性物质进行冲洗;所述导杆固定于所述固定套壳内,所述水幕套壳相对于所述导杆可拆卸。

8.根据权利要求6所述的存水装置,其特征在于,在垂直于所述水幕套壳侧壁的方向上,所述水幕套壳与所述浮动装置之间具有第二间隙,所述第二间隙的宽度范围为0.5mm~1.5mm。

9.根据权利要求7所述的存水装置,其特征在于,在垂直于所述水幕套壳侧壁的方向上,所述第一间隙的宽度范围为2mm~4mm。

10.根据权利要求1所述的存水装置,其特征在于,所述蓄水腔具有出水口与彼此连通的第一腔室和第二腔室,所述导杆位于所述第一腔室内,所述出水口与所述第二腔室连通,所述进水口用于向所述第一腔室内送入包含所述粘性物质的所述溶液,所述出水口用于排出所述溶液;还包括:隔离板和滤网,所述隔离板隔离所述第一腔室和所述第二腔室,所述滤网用于过滤所述粘性物质。

11.根据权利要求10所述的存水装置,其特征在于,所述蓄水腔包括连通所述第一腔室和所述第二腔室的连通口,所述连通口位于所述蓄水腔底部。

12.一种废气处理系统,其特征在于,包括:

至少一台如权利要求1至11中任一项所述的存水装置;

废气反应腔室,所述废气反应腔室与所述存水装置连通,所述存水装置用于存储冲洗所述废气反应腔室的制程副产物的溶液,所述溶液可循环使用。

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