[发明专利]一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法

权利要求书

1.一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤一、将碲锌镉晶片间隔均匀粘接固定在铝合金载物盘上，将磨料粒度为#1000-#5000的碳化硅砂纸粘贴固定在铸铁研磨盘上，进行研磨，研磨液为去离子水；研磨时，研磨压力为25-35kPa，研磨盘和载物盘的转速均为45-55rpm，研磨液为去离子水，去离子水的流速是5-15mL/min，研磨时间是45-75s；研磨后，先后用去离子水和清洗乙醇分别冲洗15-20min，并用压缩空气吹干；

步骤二、对碲锌镉晶片进行化学机械抛光，抛光液是由棒状介孔陶瓷磨料、去离子水、氧化剂、分散剂和pH调节剂配置而成；抛光垫为多孔氯丁橡胶抛光垫，抛光压力是15-25kPa，抛光盘和载物盘的转速均为45-55rpm，抛光液的流速是0.15-0.3mL/min，抛光时间是15-25min；

所述的棒状介孔陶瓷磨粒为氧化硅、α-氧化铝、氧化铈、氧化镁中的一种或两种以上混合，磨粒的长径比为1-3，直径为260-400nm，长度为370-930nm，重量百分比为3-8％；所述的氧化剂为过氧化氢、碘酸钾、高铁酸钾中的一种或两种以上混合，重量百分比为0.1-0.25％；所述的分散剂为聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、柠檬酸钠中的一种或两种以上混合，重量百分比为0.2-0.6％；所述的pH调节剂为柠檬酸、苹果酸、乳酸、醋酸、单宁酸中的一种或两种以上混合，调节pH至3-5；

步骤三、化学机械抛光后，先后用去离子水和清洗乙醇冲洗15-20min。