[发明专利]输送装置及其操作方法

说明书

输送装置包括支撑板和输送模块。支撑板连接至输送模块。支撑板包括第一电力和通信端子，第一电力和通信端子被配置为向输送模块提供电力和通信连接。输送模块连接至支撑板。输送模块是可拆卸的，并且包括连接至第一电力和通信端子第二电力和通信端子，以接收电力并进行通信连接。第一电力和通信端子和第二电力和通信端子是可拆卸的，具有彼此连接和断开的性能。

相关申请的交叉引用

本申请要求2020年1月21日向韩国知识产权局提交的申请号为10-2020-0007827的韩国申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

各种实施例总体而言可以涉及输送装置及其操作方法。

背景技术

为了制造半导体器件，可能在单元工艺中将晶片转移到各种半导体制造装置。

可以将多个晶片容纳在盒子中，例如前开式统一盒(FOUP)。可以通过利用输送装置将盒子顺序地传送至半导体制造工艺中。

输送装置可以基于控制程序在无人的工作空间中顺序地传送多个盒。

盒子可以放置在输送装置的传送带上。由于传送带的故障，可能需要频繁地更换新的传送带。

发明内容

在本公开的示例性实施例中，一种输送装置可以包括支撑板和输送模块。所述支撑板可以连接至所述输送模块，并且所述输送模块可以从所述支撑板拆卸。所述支撑板可以包括第一电力和通信端子。所述输送模块可以包括连接至所述第一电力和通信端子的第二电力和通信端子，以接收电力并进行通信连接。所述第一电力和通信端子和所述第二电力和通信端子是可拆卸的，具有彼此连接和断开的性能。

在本公开的示例性实施例中，根据操作输送装置的方法，可以检测目标输送模块在传送路径中的位置。可以将所述目标输送模块所位于的区段中的输送模块的数量与对于所述区段所述输送模块的允许数量进行比较，以基于比较结果来调节所述区段中的输送模块的数量。所述区段的识别信息可以被分配并存储在所述目标输送模块中。可以在所述目标输送模块中设定用于传送物体的参数。

在本公开的示例性实施例中，根据操作输送装置的方法，可以设定物体的传送路径条件。当第一输送模块的入口传感器检测到物体时，可以驱动计时器以检查所述物体到达所述第一输送模块的出口处的时间。可以检查所述第一输送模块的出口传感器在待命时间期间是否可以检测到物体。当所述第一输送模块的出口传感器在所述待命时间期间检测到所述物体时，可以驱动计时器以检查所述物体到达第二输送模块的入口处的时间。可以检查所述第二输送模块的入口传感器在所述待命时间期间是否可以检测到物体。当所述第二输送模块的所述入口传感器在所述待命时间期间检测到所述物体时，可以检查所述物体的传送是否可以完成。基于检查的结果，可以完成所述物体的传送，或者可以控制所述物体对于下一个传送路径的传送。

附图说明

通过结合所附附图进行的以下详细描述，将更清楚地理解本公开的主题的以上和其它方面、特征和优点，其中：

图1是图示根据示例性实施例的输送装置的视图；

图2是图示根据示例性实施例的输送装置的布局的视图；

图3是图示根据示例性实施例的输送装置的视图；

图4是图示根据示例性实施例的输送模块与支撑板之间的连接的视图；

图5A和图5B是图示根据示例性实施例的交换输送模块的方法的视图；

图6是图示根据示例性实施例的布置在输送模块处的入口传感器和出口传感器的视图；

图7是图示根据示例性实施例的输送模块的传送路径的视图；以及

图8至图10是图示根据示例性实施例的操作输送装置的方法的流程图。

具体实施方式