[发明专利]一种全固态形式的LiDAR传感系统

权利要求书

1.一种全固态形式的LiDAR传感系统，其特征在于：包括光束控制模块、激光调制模块、MEMS控制模块、激光发射阵列控制模块、激光发射阵列模块、MEMS光束操纵传感器、光探测器、信号放大模块、信号处理与控制模块和识别显示模块；所述光束控制模块分别与所述激光调制模块和所述MEMS控制模块连接，所述激光调制模块与所述MEMS控制模块连接，所述MEMS控制模块与所述MEMS光束操纵传感器连接；所述光束控制模块与所述激光发射阵列控制模块连接，所述激光发射阵列控制模块与所述激光发射阵列模块连接，所述激光发射阵列模块与所述MEMS光束操纵传感器连接；所述光探测器与所述信号放大模块连接，所述信号放大模块与所述信号处理与控制模块连接，所述信号处理与控制模块与所述识别显示模块连接。

2.根据权利要求1所述的一种全固态形式的LiDAR传感系统，其特征在于：所述信号放大模块包括主放大器和前置放大器；所述光探测器与所述前置放大器连接，所述前置放大器与所述主放大器连接，所述主放大器与所述信号处理与控制模块连接。

3.根据权利要求1所述的一种全固态形式的LiDAR传感系统，其特征在于：所述MEMS光束操纵传感器包括弹簧式MEMS悬臂结构、可调谐光栅和光耦合波导锥；所述弹簧式MEMS悬臂结构上设有MEMS梳状驱动器；所述可调谐光栅的一端与所述MEMS梳状驱动器连接，另一端与所述光耦合波导锥连接。

4.根据权利要求3所述的一种全固态形式的LiDAR传感系统，其特征在于：所述弹簧式MEMS悬臂结构上设有MEMS悬浮式结构；所述MEMS悬浮式结构包括石墨烯层、二氧化硅层和硅层，所述二氧化硅层依附在在所述硅层上，所述石墨烯层依附在所述二氧化硅层上；对所述石墨烯层图形化，使石墨烯层形成电极板；所述MEMS梳状驱动器通过所述电极板对所述弹簧式MEMS悬臂结构进行拉伸。

5.根据权利要求4所述的一种全固态形式的LiDAR传感系统，其特征在于：所述硅层厚度为220nm；所述二氧化硅层厚度为2um；所述石墨烯层厚度小于等于1nm。

6.根据权利要求1所述的一种全固态形式的LiDAR传感系统，其特征在于：所述激光发射阵列模块包括905nm、1550nm或垂直腔面发射激光器。