[发明专利]一种转移真空样品托及真空互联系统在审
申请号: | 202010633584.1 | 申请日: | 2020-07-02 |
公开(公告)号: | CN113884698A | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 陈志敏;丁孙安;龚忠苗;陆晓鸣;魏伟;王利;凌小伦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G01N35/10 | 分类号: | G01N35/10 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 真空 样品 联系 | ||
1.一种转移真空样品托,其特征在于,包括第二托体组件(21)和热电偶(22),所述第二托体组件(21)上开设有容纳槽(2110)和设于所述容纳槽(2110)两相对侧的一对第二插槽(C2),两个所述第二插槽(C2)的延伸方向相同并与所述容纳槽(2110)连通,所述热电偶(22)固定在所述第二托体组件(21)上并位于所述容纳槽(2110)的第一端;所述热电偶(22)延伸至所述容纳槽(2110)下方,用于在小样品托(30)的宽度方向的两侧自所述容纳槽(2110)的第二端插入所述第二插槽(C2)时,与小样品托(30)接触。
2.根据权利要求1所述的转移真空样品托,其特征在于,所述第二托体组件(21)包括第二托体(211)和固定在所述第二托体(211)顶部的第二压片(212),所述第二托体(211)包括承载部(2111)和形成于所述承载部(2111)上的两个间隔的凸台(2112);每个所述凸台(2112)上形成有凹陷的第二台阶部,两个所述凸台(2112)的第二台阶部朝向彼此设置,所述第二压片(212)的一端固定在所述凸台(2112)上,所述第二压片(212)的另一端朝向对侧的凸台(2112)延伸,并伸出其所在的凸台(2112),与其下方的第二台阶部围成所述第二插槽(C2)。
3.根据权利要求2所述的转移真空样品托,其特征在于,所述第二托体(211)的顶部凹陷设置,形成第二压片槽,所述第二压片(212)固定在所述第二压片槽内。
4.根据权利要求2所述的转移真空样品托,其特征在于,所述第二托体(211)还包括与所述承载部(2111)的一端相连的抓取头(2113),所述抓取头(2113)设于所述容纳槽(2110)的第二端。
5.根据权利要求2所述的转移真空样品托,其特征在于,所述第二托体(211)还包括两个翻折部(2114),每个所述翻折部(2114)自一个所述凸台(2112)的顶部朝外翻折而成,形成与所述第二托体(211)的所述承载部(2111)平行的翻边。
6.根据权利要求2~5任一所述的转移真空样品托,其特征在于,所述承载部(2111)上开设有加热孔(200),所述加热孔(200)贯穿所述第二托体组件(21)至与所述容纳槽(2110)连通。
7.一种真空互联系统,其特征在于,包括第一样品托(10)、第二样品托(20)以及小样品托(30),所述第二样品托(20)为权利要求1~6任一所述的转移真空样品托;所述第一样品托(10)的顶部形成有第一插槽(C1),所述小样品托(30)可选择性地在插入所述第一插槽(C1)和所述第二插槽(C2)中;所述热电偶(22)用于在所述小样品托(30)插入所述第二插槽(C2)时与所述小样品托(30)接触。
8.根据权利要求7所述的真空互联系统,其特征在于,所述小样品托(30)的前端的底部凸设有筋部(32),所述筋部(32)用于在所述小样品托(30)插入所述第二样品托(20)的第二插槽(C2)后与所述热电偶(22)的自由端接触。
9.根据权利要求8所述的真空互联系统,其特征在于,所述筋部(32)的前端形成倾斜的倒角面,越靠近所述小样品托(30)尾端,所述筋部(32)相对于所述小样品托(30)的凸出厚度越大。
10.根据权利要求8或9所述的真空互联系统,其特征在于,所述小样品托(30)包括用于承载样品的方形部分,所述方形部分的中心开设有供样品穿设并固定的样品固定孔。
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