[发明专利]铸造单晶硅锭及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010615816.0 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN111705358A 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 陈红荣;胡动力;张华利;宋亚飞 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B11/14;C30B29/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 孔令聪
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 铸造 单晶硅 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

在坩埚的底部铺设单晶籽晶,形成单晶籽晶层;

在所述单晶籽晶层的四周铺设至少一根单晶条,所述单晶条与相邻的单晶籽晶相互拼接,其中,所述单晶条的缺陷比值大于相邻所述单晶籽晶的缺陷比值;

在所述单晶籽晶层与至少一根所述单晶条上装硅料,加热使硅料完全熔化、单晶籽晶层部分熔化,长晶之后得到铸造单晶硅锭。

2.根据权利要求1所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述单晶条由以下方法制备得到:切割铸造单晶块得到头部,之后检测切割面的缺陷比值,将切割面的缺陷比值大于50%的头部切割成多根单晶条。

3.根据权利要求2所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,在所述单晶籽晶层的四周铺设至少一根单晶条的操作中,所述单晶条的缺陷比值大于50%的切割面朝向相邻的单晶籽晶。

4.根据权利要求1所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述单晶条为长方体,所述单晶条的长度和高度均与相邻所述单晶籽晶的长度和高度相同,所述单晶条的宽度为5mm~40mm。

5.根据权利要求1所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,相互拼接的所述单晶条与相邻所述单晶籽晶的侧面晶向不同。

6.根据权利要求1所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述单晶条的根数为若干根,若干根所述单晶条依次首尾拼接,相互拼接的相邻两根所述单晶条的侧面晶向不同。

7.根据权利要求6所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,装硅料之前还包括以下步骤:

在所述单晶条的四周填充硅基浆料,所述硅基浆料为氮化硅与硅粉的混合浆料或者氮化硅浆料,干燥之后形成硅基填充条。

8.根据权利要求7所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述氮化硅与硅粉的混合浆料中,所述氮化硅与所述硅粉的质量比为(2~10):1。

9.根据权利要求7所述的铸造单晶硅锭的制备方法,其特征在于,所述硅基填充条的高度与所述单晶籽晶的高度的比值为(5~7):10。

10.一种铸造单晶硅锭,其特征在于,由权利要求1~9中任一项所述的铸造单晶硅锭的制备方法制备得到。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,未经江苏协鑫硅材料科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010615816.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top