[发明专利]阵列准直激光参量检测装置

权利要求书

1.一种阵列准直激光参量检测装置，其特征在于，包括：

第一分光器，用于对阵列激光束进行分束，得到第一激光束和第二激光束；

第二分光器，用于对所述第二激光束进行分束，得到第三激光束和第四激光束；

第三分光器，用于对所述第四激光束进行分束，得到第五激光束和第六激光束；

偏振调节器，用于对所述第六激光束的进行偏振方向调节；

第四分光器，用于对偏振方向调节后的所述第六激光束进行分束，得到第七激光束和第八激光束；

第一检测支路、第二检测支路及第三检测支路，用于各接收所述第一激光束、所述第三激光束及所述第五激光束中的一束激光束；

第四检测支路和第五检测支路，用于各接收所述第七激光束和所述第八激光束中的一束激光束；

其中：

第一检测支路，包括光功率计，用于检测其接收的激光束的光功率，以得到阵列激光束的光功率；

第二检测支路，包括第一补偿调节器、孔径光阑、第一探测器和相位延时处信息理器；其中，所述第一补偿调节器用于对所述第二检测支路接收的激光束进行像质补偿，并调节所述第二检测支路接收的激光束的激光功率；所述孔径光阑用于对像质补偿后的所述第二检测支路接收的激光束进行定位采样；所述第一探测器用于对定位采样后的激光束进行功率特性检测，并输出功率特性检测信号；所述相位延时处信息理器用于对所述功率特性检测信号进行处理，得到阵列激光束的相位差信息和延时差信息；

第三检测支路，包括第二补偿调节器、第二探测器、及位置信息处理器；其中，所述第二补偿调节器用于对所述第三检测支路接收的激光束进行像质补偿；所述第二探测器用于对像质补偿后的所述第三检测支路接收的激光束的进行能量分布检测，并输出能量分布检测信号；所述位置信息处理器用于对所述能量分布检测信号进行处理，得到阵列激光的聚焦光斑的位置信息；

第四检测支路，包括第三补偿调节器、成像器、以及图像显示器；其中，所述第三补偿调节器用于对所述第四检测支路接收的激光束的进行像质补偿，所述成像器用于检测得到像质补偿后的所述第四检测支路接收的激光束的聚焦激光图像，所述图像显示器用于显示所述聚焦激光图像；

第五检测支路，包括第四探测器和偏振信息处理器；其中，所述第四探测器用于对所述第五检测支路接收的激光束进行偏振激光功率检测，得到偏振激光功率检测信号；所述偏振信息处理器用于对所述偏振激光功率检测信号进行处理，得到阵列激光的偏振信息；

所述孔径光阑位于所述第二检测支路的激光束聚焦平面上，其通光孔周围的非通光部分的表面为漫反射面；所述第一探测器为光电探测器，包括具有探测信号预放大功能的光电二极管或光电倍增管；所述第一探测器的探测感光面贴近并面对所述孔径光阑的通光孔；所述第一探测器的探测感光面和所述孔径光阑能够同步进行二维调节；

聚焦镜，位于所述第一分光器的激光入射侧，用于对所述阵列激光束进行聚焦；聚焦镜为球面镜或非球面镜，为透射镜或反射镜，其镜面覆盖有非偏振相关膜层。

2.如权利要求1所述的阵列准直激光参量检测装置，其特征在于，还包括：

补偿器，位于用于分束得到所述第二检测支路所接收的激光束的分光器和用于分束得到所述第三检测支路所接收的激光束的分光器的激光入射侧，用于对激光束进行像质补偿。

3.如权利要求2所述的阵列准直激光参量检测装置，其特征在于，所述第一检测支路所接收的激光束为所述第一激光束，所述第二检测支路所接收的激光束为所述第三激光束，所述第三检测支路所接收的激光束为所述第五激光束；所述补偿器位于所述第一分光器和所述第二分光器之间。

4.如权利要求1所述的阵列准直激光参量检测装置，其特征在于，还包括：

阵列准直激光发射设备，包括多个激光发射单元，用于产生准直的阵列激光束；其中，每个所述激光发射单元可单独进行六维调节。