[发明专利]一种罐体吹扫及检测系统及其工作方法在审

专利信息
申请号: 202010558673.4 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN111734957A 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 柳光植;沈琦 申请(专利权)人: 江苏先科半导体新材料有限公司
主分类号: F17D1/04 分类号: F17D1/04;F17D3/01;F17D3/14;B08B9/093;G01N15/06;G01N33/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 张超
地址: 214203 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 罐体吹扫 检测 系统 及其 工作 方法
【权利要求书】:

1.一种罐体吹扫及检测系统,其特征在于:包括气体输送主干路,气体输送主干路上有过滤系统,沿气体输送方向的过滤系统的后方设有单向阀,单向阀的后方设有多个与气体输送主干路连接的吹扫及检测系统,每两套吹扫及检测系统共用同一套颗粒计数器及水分仪,每套吹扫及检测系统包括自气体输送主干路延伸出的第一支路,第一支路的出口分为第二支路和第三支路,第二支路和第三支路的出口汇聚在第四支路的进口,第四支路通过颗粒过滤器和电磁阀再和罐体的进口连接,罐体的出口连接颗粒计数器及水分仪。

2.根据权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统,其特征在于:所述过滤系统包括沿气体输送方向依次设置的用于调压的压力调控阀、用于去除气体微尘的颗粒过滤器以及用于去除气体中水分的纯化器。

3.根据权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统,其特征在于:所述第二支路上有且仅有一个第一截止阀。

4.根据权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统,其特征在于:所述第三支路上沿气体的输送方向依次设有用于调压的压力调控阀、流量计以及第二截止阀。

5.根据权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统,其特征在于:沿气体的输送方向,在罐体的进口处的颗粒过滤器前设有第三截止阀,在第三截止阀的进口前直接引出第五支路及第五支路上的第五截止阀连接到罐体出口所连接的管路上,且第五支路和罐体出口所连接的管路交汇处位于罐体出口的第四截止阀的出口后方。

6.根据权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统,其特征在于:罐体出口所连接的管路不仅连接颗粒计数器及水分仪,同时分出两条支路,其中一条连接到了真空泵,另一条通过第六截止阀和单向阀连接外部空气。

7.根据权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统,其特征在于:所述电磁阀和PLC控制器连接,所述PLC控制器的型号为DVP60ES2。

8.一种如权利要求1所述的罐体吹扫及检测系统的工作方法,其特征在于:包括以下步骤:

1)关闭位于气体输送主干路上单向阀,并打开真空泵,检查系统及罐体的气密性;

2)通过调整气体输送主干路上过滤系统的压力调控阀,使得输送到第一支路的气压为7bar;

3)先关闭第三截止阀和第四截止阀,打开第一截止阀、第二截止阀和第五截止阀,使得气流不经过罐体进行系统自检,并调整系统使得颗粒计数器和水分仪的读数符合要求;

4)打开第一截止阀、第三截止阀和第四截止阀,关闭第二截止阀和第五截止阀,并通过PLC控制电磁阀进行高频次开合,使得气体对罐体内进行高频次的间歇性吹扫,并打开后续连接外部空气的单向阀,使得颗粒物和水分排出;

5)打开第二截止阀、第三截止阀和第四截止阀,关闭第一截止阀和第五截止阀,通过第三支路上的压力调控阀,调整气压为4bar,并通过PLC控制电磁阀始终开启,使得气体对罐体进行持续吹扫,在颗粒计数器和水分仪进行读数,直至颗粒计数器和水分仪的读数符合要求。

9.根据权利要求8所述的罐体吹扫及检测系统的工作方法,其特征在于:所述步骤4)中高频次的开合速度具体为以一秒开一秒关的开合速度进行。

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