[发明专利]一种集成压电薄膜芯片和减速器的薄膜压电马达

权利要求书

1.一种集成压电薄膜芯片和减速器的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达内包含压电薄膜芯片(8)，一组转子齿轮(2)，以及中心齿轮(1)和/或内齿圈(3)；所述的压电薄膜芯片(8)上包含一组薄膜压电马达的定子结构，任一所述的转子齿轮(2)通过底部的转子平台与对应的定子结构摩擦联接，所述的定子结构与转子平台形成旋转式压电马达单元；所述的转子齿轮(2)和中心齿轮(1)是外齿轮，内齿圈是内齿轮(3)，转子齿轮(2)及中心齿轮(1)和/或内齿圈(3)的旋转轴相互平行且轴心位置固定，所述的转子齿轮(2)与中心齿轮(1)和/或内齿圈(3)相互啮合，任一转子齿轮(2)的旋转方向相同，所述的薄膜压电马达的力矩由中心齿轮(1)或内齿圈(3)输出。

2.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达包含中心齿轮(1)，压电薄膜芯片(8)上的一个定子结构与中心齿轮(1)的转子平台形成压电马达单元，且中心齿轮(1)旋转方向与转子齿轮(2)相反。

3.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达包括一组转子齿轮(2)和中心齿轮(1)，任一转子齿轮(2)与中心齿轮(1)相互啮合，转子齿轮(2)产生输入力矩，通过齿轮啮合从中心齿轮(1)输出力矩。

4.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达包括一组转子齿轮(2)和内齿圈(3)，任一转子齿轮(2)与内齿圈(3)相互啮合，转子齿轮(2)产生输入力矩，通过齿轮啮合从内齿圈(3)输出力矩。

5.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达包括一组转子齿轮(2)，中心齿轮(1)和内齿圈(3)，中心齿轮(1)和内齿圈(3)共轴，任一转子齿轮(2)与中心齿轮(1)和内齿圈(3)相互啮合，转子齿轮(2)产生输入力矩，通过齿轮啮合从中心齿轮(1)输出力矩。

6.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达包括一组转子齿轮(2)，中心齿轮(1)和内齿圈(3)，中心齿轮(1)和内齿圈(3)共轴，任一转子齿轮(2)与中心齿轮(1)和内齿圈(3)相互啮合，转子齿轮(2)产生输入力矩，通过齿轮啮合从内齿圈(3)输出力矩。

7.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的薄膜压电马达中，任一压电马达单元具有相同的结构。

8.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的转子齿轮(2)为三个以上，且每个转子齿轮(2)参数均相同，其旋转轴的轴心以中心齿轮(1)或内齿圈(3)的轴心为中心作等距离圆周排列。

9.根据权利要求1所述的薄膜压电马达，其特征在于，所述的转子齿轮(2)采用多级排列，其中相邻两级的转子齿轮(2)之间相互啮合且旋转方向相反，第一级转子齿轮(2)与中心齿轮(1)相互啮合，和/或最后一级转子齿轮(2)与内齿圈(3)相互啮合。

10.根据权利要求9所述的薄膜压电马达，其特征在于，同一级的转子齿轮(2)参数相同，其轴心以中心齿轮(1)或内齿圈(3)的轴心为中心作等距离圆周排列。