[发明专利]X射线分析系统和X射线分析方法

说明书

一种X射线分析系统和X射线分析方法，针对反映出价带的电子状态的Lα峰(70C)和Lβ峰(70D)设定3个ROI：ROI‑c、ROI‑d、ROI‑e。用ROI‑a内的累计值将ROI‑c、ROI‑d、ROI‑e内的累计值标准化，从而求出试样矢量。将试样矢量与对应于多个化合物的多个化合物矢量进行比较，基于类似度最高的化合物矢量，推定出构成试样的化合物。

技术领域

本公开涉及X射线分析系统和X射线分析方法，特别是，涉及基于X射线光谱的试样的分析。

背景技术

作为X射线分析系统，提出了各种系统。例如，已知对试样照射电子束并对由此从试样释放出的X射线(特征X射线；characteristic X-ray)进行测定的系统。在这种系统中，通过对关于测定出的X射线的光谱(spectrum)进行解析来分析试样。

例如，作为装配于扫描电子显微镜(SEM)的X射线分析装置，已知波长色散型(wavelength dispersive)X射线分析装置和能量色散型(energy dispersive)X射线分析装置。在此，当着眼于前者时，波长色散型X射线分析装置将从试样释放出的X射线引导至衍射光栅(diffraction grating)，使用衍射光栅生成每个波长下的X射线分量，通过对这些X射线分量依次进行检测而得到X射线光谱。

在典型的波长色散型X射线分析装置中，需要移动衍射光栅和X射线检测器，无法同时检测多个波长。对此，提出了多波长同时检测型的软X射线分光装置(参照寺内正己等(M.Terauchi et al.)，S EMでの軟X線発光分光による化学状態分析(Chemical StateAnalysis with Soft-X-ray Emission Spectroscopy Based on SEM)、表面化学、Vol.36,NO.4,pp.184-188,2015.)。该装置具备：衍射光栅，其具有波长色散功能；以及检测器，其对衍射后在空间上扩展的X射线进行检测，该装置能够一次检测一定的波长范围内的全部X射线分量。该装置具有较高的能量分辨率，期待它今后得到越来越多的利用。

发明内容

发明要解决的问题

价带(valence band)中的电子状态根据原子间的化学键(chemical bonding)的形态而发生变化。反言之，如果能够观测到价带的电子状态，则能得到反映出原子间的化学键的信息，也就是化合物特有的信息。虽然直接观测价带的电子状态是困难的，但是能对由于从作为外壳(outer shell)(最外壳)的价带向内壳(inner shells)的电子跃迁(electron transition)而产生的X射线进行观测。例如可以想到，如果使用上述的高分辨率型软X射线分光装置，则能够得到反映出价带的电子状态的信息，并将该信息用于试样的分析。此外，在X射线光谱中也包含由于内壳之间的电子跃迁而引起的峰，期望利用由此得到的信息。

本公开的目的在于高精度地分析试样。或者，本公开的目的在于，在分析试样时利用反映出从价带向内壳的电子跃迁的信息。

用于解决问题的方案

本公开的X射线分析系统包含生成装置和分析装置。生成装置生成关于从试样释放出的X射线的光谱。在光谱中包含由于从相当于外壳的价带向内壳(inner shell)的电子跃迁而产生的第1峰、以及由于内壳之间的电子跃迁而产生的第2峰。分析装置是基于光谱来分析试样的装置。分析装置包含：计算部，其基于光谱来计算反映出试样中的化学键的特有的信息；以及分析部，其基于特有的信息来分析试样。

第1峰的形态或位置等根据价带的电子状态而发生变化。换言之，第1峰反映出化学键。因此，至少基于第1峰，优选基于第1峰和第2峰来计算用于对试样进行分析的特有的信息。第2峰通常稳定地产生，在实施方式中，第2峰作为标准化用的参考来使用。也可以将第2峰的位置或强度设为独立的特征量。