[发明专利]一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备有效

专利信息
申请号: 202010436620.5 申请日: 2020-05-21
公开(公告)号: CN111589781B 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 刘东旭;王锐廷 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 施敬勃
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 设备 密封
【权利要求书】:

1.一种槽式清洗设备的密封盖,用于密封槽式清洗设备的清洗槽,其特征在于,所述密封盖包括密封盖本体(100)、密封膜(200)和支撑件(300);

所述支撑件(300)设置于所述密封盖本体(100)上,且所述支撑件(300)凸起于所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧,所述密封膜(200)覆盖所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧,且所述支撑件(300)支撑所述密封膜(200),以使所述密封膜(200)形成导流斜面,所述导流斜面位于所述密封膜(200)的背离所述密封盖本体(100)的一侧;

所述密封膜(200)包括本体部(210)和包边(220),所述包边(220)与所述本体部(210)相连,所述包边(220)覆盖所述密封盖本体(100)的至少部分侧边;

在垂直所述清洗槽的槽口的方向上,所述密封盖本体(100)在第一平面上的投影为第一投影,所述密封膜(200)在所述第一平面上的投影为第二投影,所述第一投影位于所述第二投影之内,其中,所述第一平面与所述清洗槽的槽口相平行。

2.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述支撑件(300)为板状支撑件,所述密封盖本体(100)为矩形件,且所述矩形件具有第一侧边(110),所述支撑件(300)的长度方向与所述第一侧边(110)平行。

3.根据权利要求2所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖本体(100)还具有第二侧边(120),所述第二侧边(120)与所述第一侧边(110)平行,且所述支撑件(300)与所述第一侧边(110)之间的距离等于所述支撑件(300)与所述第二侧边(120)之间的距离。

4.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖还包括加强筋(400),所述加强筋(400)设置于所述密封盖本体(100)背离所述支撑件(300)的一侧。

5.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封膜(200)与所述密封盖本体(100)具有间隙,所述密封盖还包括密封侧板(500),所述密封侧板(500)设置于所述密封盖本体(100)的至少一个第三侧边,且所述密封侧板(500)具有与所述导流斜面适配的连接面(510),且所述连接面(510)与所述密封膜(200)相连,以使所述密封侧板(500)覆盖所述间隙。

6.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖本体(100)的周缘设有圆角。

7.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖还包括驱动连接部(600),所述驱动连接部(600)设置于所述密封盖本体(100)上,所述槽式清洗设备包括驱动机构,所述驱动机构通过所述驱动连接部(600)驱动所述密封盖覆盖所述清洗槽或打开所述清洗槽。

8.一种槽式清洗设备,其特征在于,包括清洗槽和权利要求1至7中任一项所述的密封盖,所述密封盖可密封所述清洗槽。

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