[发明专利]一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备有效
申请号: | 202010436620.5 | 申请日: | 2020-05-21 |
公开(公告)号: | CN111589781B | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 刘东旭;王锐廷 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 施敬勃 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 设备 密封 | ||
1.一种槽式清洗设备的密封盖,用于密封槽式清洗设备的清洗槽,其特征在于,所述密封盖包括密封盖本体(100)、密封膜(200)和支撑件(300);
所述支撑件(300)设置于所述密封盖本体(100)上,且所述支撑件(300)凸起于所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧,所述密封膜(200)覆盖所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧,且所述支撑件(300)支撑所述密封膜(200),以使所述密封膜(200)形成导流斜面,所述导流斜面位于所述密封膜(200)的背离所述密封盖本体(100)的一侧;
所述密封膜(200)包括本体部(210)和包边(220),所述包边(220)与所述本体部(210)相连,所述包边(220)覆盖所述密封盖本体(100)的至少部分侧边;
在垂直所述清洗槽的槽口的方向上,所述密封盖本体(100)在第一平面上的投影为第一投影,所述密封膜(200)在所述第一平面上的投影为第二投影,所述第一投影位于所述第二投影之内,其中,所述第一平面与所述清洗槽的槽口相平行。
2.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述支撑件(300)为板状支撑件,所述密封盖本体(100)为矩形件,且所述矩形件具有第一侧边(110),所述支撑件(300)的长度方向与所述第一侧边(110)平行。
3.根据权利要求2所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖本体(100)还具有第二侧边(120),所述第二侧边(120)与所述第一侧边(110)平行,且所述支撑件(300)与所述第一侧边(110)之间的距离等于所述支撑件(300)与所述第二侧边(120)之间的距离。
4.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖还包括加强筋(400),所述加强筋(400)设置于所述密封盖本体(100)背离所述支撑件(300)的一侧。
5.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封膜(200)与所述密封盖本体(100)具有间隙,所述密封盖还包括密封侧板(500),所述密封侧板(500)设置于所述密封盖本体(100)的至少一个第三侧边,且所述密封侧板(500)具有与所述导流斜面适配的连接面(510),且所述连接面(510)与所述密封膜(200)相连,以使所述密封侧板(500)覆盖所述间隙。
6.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖本体(100)的周缘设有圆角。
7.根据权利要求1所述的密封盖,其特征在于,所述密封盖还包括驱动连接部(600),所述驱动连接部(600)设置于所述密封盖本体(100)上,所述槽式清洗设备包括驱动机构,所述驱动机构通过所述驱动连接部(600)驱动所述密封盖覆盖所述清洗槽或打开所述清洗槽。
8.一种槽式清洗设备,其特征在于,包括清洗槽和权利要求1至7中任一项所述的密封盖,所述密封盖可密封所述清洗槽。
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