[发明专利]微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法

说明书

本发明提供一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法，包括底座；多个滑块，可滑动地设置在底座上，多个滑块环抱分布并在中心形成一正六边形空间，用于放置微通道板屏段或者标准块；压圈，套在多个滑块的斜面上，具有使得多个滑块具有朝向中心聚拢收紧的趋势。还包括多个不同尺寸的塞尺，在检测时在所述中心以标准块替换屏段，通过压圈对滑块进行压紧后，以多个塞尺其中任意之一塞入标准块‑滑块、滑块‑滑块、滑块‑压圈三类接触界面，根据能塞进的塞尺的最大尺寸测量出缝隙的大小。本发明可直接通过组合精度的测量值表征压屏模具的变形程度，解决压屏模具的变形程度的量化表征的问题。

技术领域

本发明涉及半导体光电技术领域，尤其是微通道板(MCP)制备技术领域，具体而言涉及一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法。

背景技术

在电子倍增领域，微通道板是一种常用的真空电子器件。电子在微通道板中可呈指数型增长到阈值。在微通道板的制备过程中，需要将由一根根光学玻璃排列而成的微通道板屏段，在高压、高温的作用下进行熔压，目的是将分散的光学玻璃纤维组成一个微通道板屏段整体。在熔压的过程中需要使用压屏模具将微通道板屏段进行固定。在固定的过程中，压屏模具由于长期的高压、高温作用会产生应变，进而可能对微通道板的性能产生影响。

现有技术中对于微通道板的工装夹具的设计，关注了微通道板的排板模具的结构设计，例如方孔微通道板的排板模具，可以适用于排方形复丝。另外，在排丝模具中还有一些正六棱柱形的排丝模具，但是由于排屏、压屏的方丝、复丝均为非常细的玻璃纤维丝，现有的工装模具中无法对压屏模具变形程度的测量进行检测，从而影响排屏压屏的精度。

现有技术文献：

专利文献1：一种提高微通道板增益的方法，CN106847649B

专利文献2：方孔微通道板排版模具，CN202495411U

专利文献3：微通道板制造用排丝模具，CN201576647U

发明内容

本发明目的在于提供一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法，用于测量微通道板生产过程中所使用的的压屏模具的变形程度，进而依靠测量结果维修或更换压屏模具提高微通道板屏段的熔压合格率。

为实现上述目的，本发明提出一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置，包括：

底座，被设置成放置在水平平台上；

多个滑块，可滑动地设置在所述底座上，其中多个滑块环抱分布并在中心形成一正六边形空间，用于放置微通道板屏段或者标准块，其中每个滑块朝向中心的方向为垂直平面，背离中心的方向为斜面；

压圈，套在所述多个滑块的斜面上，并且具有使得多个滑块具有朝向中心聚拢收紧的趋势；

其中，所述多个滑块的结构相同；所述压圈构造为外侧垂直、内侧倾斜的环形框架，套到滑块上之后其底面抵靠到底座的表面；

所述变形程度测量装置还包括多个不同尺寸的塞尺，在检测时在所述中心以标准块替换屏段，通过压圈对滑块进行压紧后，以多个塞尺其中任意之一塞入标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三类接触界面，根据能塞进的塞尺的最大尺寸测量出缝隙的大小。

优选地，所述底座、滑块和压圈均为钢制件。

优选地，所述多个塞尺的厚度尺寸在0-1mm之间。

优选地，所述标准块的尺寸大小与微通道板屏段的直径相匹配，其形状为正六边形。

优选地，所述底座上设置有用于指示底座水平状态的水准泡。

根据本发明的改进，还提出一种压屏模具的变形程度测量方法，包括：