[发明专利]集成电路芯片的检测方法在审

专利信息
申请号: 202010423898.9 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN113686895A 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 张成;姚燕杰;王丽;位贤龙 申请(专利权)人: 江苏凯尔生物识别科技有限公司
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956;G01N21/01
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 215131 江苏省苏州市相*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 芯片 检测 方法
【权利要求书】:

1.一种集成电路芯片的检测方法,其特征在于:所述检测方法基于一检测装置,此检测装置包括底板(1)、安装于底板(1)上表面的电机(2)、若干个间隔设置于底板(1)上表面的固定板(5)和若干个分别与固定板(5)面对面设置的活动板(4),所述电机(2)安装于固定板(5)或活动板(4)的外侧,所述底板(1)与活动板(4)之间设置有一滑板(7),所述活动板(4)的下表面可活动地安装于滑板(7)上,从而使得活动板(4)可沿靠近或远离固定板(5)方向移动;

相对设置的固定板(5)与活动板(4)之间连接有一限位轴(501),所述活动板(4)靠近固定板(5)的一侧表面上具有一朝向固定板(5)的凸管(401),此凸管(401)中央开有供限位轴(501)嵌入的通孔,所述限位轴(501)的一端嵌入固定板(5)内,并与固定板(5)转动连接,此限位轴(501)的另一端嵌入凸管(401)上的通孔内,并可以在通孔内滑动;

所述电机(2)的输出端上连接有一转轴(201),此转轴(201)远离电机(2)的一端安装有一主齿轮(202),此主齿轮(202)与电机(2)之间的转轴(201)上安装有一副齿轮(204),所述固定板(5)、活动板(4)各自相对的一侧均设置有一转动盘(6),位于固定板(5)一侧的转动盘(6)可转动地安装于限位轴(501)上,位于活动板(4)一侧的转动盘(6)可转动地套装于凸管(401)外侧,位于同一侧的若干个转动盘(6)与副齿轮(204)之间通过一个卡带(602)传动连接,位于另一侧的若干个转动盘(6)与主齿轮(202)之间通过另一个卡带(602)传动连接,所述卡带(602)的外壁上设置有若干个供安装集成芯片(9)的安装卡槽(604);

若干个所述活动板(4)之间通过一推板(402)连接,此推板(402)位于活动板(4)相背于固定板(5)外侧,所述推板(402)的外侧设置有一安装架(3),此安装架(3)上安装有一第一气缸(301),此第一气缸(301)的输出端与推板(402)固定连接,所述安装架(3)上还设置有一第二气缸(303),所述第二气缸(303)的推杆横跨于卡带(602)上方,且此第二气缸(303)的推杆上连接有一CCD相机(304),此CCD相机(304)通过导线与安装于安装架(3)上的芯片检测单元(302)接通;

所述检测方法包括以下步骤:

步骤一、将装置与外界的电源接通,使装置能正常运行;

步骤二、启动第一气缸(301),调整相对安装卡槽(604)之间的距离以匹配待检测集成芯片(9)的尺寸;

步骤三、将集成芯片(9)安装到安装卡槽(604)内;

步骤四、启动电机(2),将集成芯片(9)移动至检测位置;

步骤五、启动第二气缸(303),将CCD相机(304)延伸到卡带(602)上方集成芯片(9)的一侧进行扫描,直至到达第二气缸(303)的最大行程;

步骤六、再次启动第二气缸(303),将CCD相机(304)返回原位的同时再次对集成芯片(9)进行扫描。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片的检测方法,其特征在于:所述固定板(5)、活动板(4)和滑板(7)的数目均为两个,分别对应设置于底板(1)两端。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片的检测方法,其特征在于:每个所述转动盘(6)的周向表面上设置有卡齿(601),所述卡带(602)的内表面上设置有与卡齿(601)配合的卡槽,所述卡带(602)与转动盘(6)之间通过卡槽与卡齿(601)传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片的检测方法,其特征在于:所述转动盘(6)各自相背于固定板(5)、活动板(4)的一侧均设置有一挡板(603),从而在此挡板(603)与转动盘(6)之间形成一供卡带(602)嵌入的限位槽。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片的检测方法,其特征在于:每个所述固定板(5)相背于活动板(4)的外侧均设置有一限位板(502),所述限位轴(501)的一端穿过固定板(5)与限位板(502)连接。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片的检测方法,其特征在于:所述滑板(7)的上表面开有多组移动滑槽(701),所述活动板(4)通过移动滑槽(701)与滑板(7)滑动连接。

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