[发明专利]一种整盒硅片激光刻字识别装置及其识别方法在审
| 申请号: | 202010382839.1 | 申请日: | 2020-05-08 |
| 公开(公告)号: | CN111399315A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
| 发明(设计)人: | 田增国;姜宝柱;张宏帅 | 申请(专利权)人: | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
| 主分类号: | G03B15/00 | 分类号: | G03B15/00;G03B15/02;G03B17/56;G06K9/20 |
| 代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 李现艳 |
| 地址: | 471000 河南省洛阳市中国(河南)自*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 激光 刻字 识别 装置 及其 方法 | ||
本发明提供一种整盒硅片激光刻字识别装置及其识别方法,该刻字识别装置可同时对整盒硅片进行激光刻字字符识别,无需打开整盒硅片的外包装,减少了对清洗后硅片的操作工序,降低对硅片污染的可能性,而且,采用计算机进行字符识别后生成的数字化信息更易于存储记录、上传至MES等车间级管理软件等,减少了手动记录与录入编号的步骤,相比原有工作方式与流程需要三名工作人员完成识别、记录、上传等工作,激光刻字识别装置投入使用后仅需一名操作人员,且相比原有识别方法识别效率高、耗时短,大大降低操作人员的劳动强度。
技术领域
本发明涉及计算机视觉检测技术领域,具体涉及一种整盒硅片激光刻字识别装置及其识别方法。
背景技术
硅片上的激光刻字字符往往载有硅片的晶锭号、硅片编号、供方代码以及设备校验码等重要信息,因此,对硅片上的激光刻字字符进行识别与记录具有重要意义,目前,激光刻字字符识别一般是在硅片清洗工序之后、包装工序之前,由工作人员利用肉眼对片盒内的硅片进行识别,整个激光刻字识别过程包括识别、记录、上传等步骤,一共需要三名工作人员完成,现有工作方法与工作流程具有效率低、人工成本高、劳动强度大等缺点,因此亟需一种节省人工成本、工作效率高、识别准确率更高的方案来代替现有的激光刻字识别方式。
发明内容
本发明的目的是提供一种整盒硅片激光刻字识别装置及其识别方法,该刻字识别装置可同时对整盒硅片进行激光刻字字符识别,无需打开整盒硅片的外包装,减少了对清洗后硅片的操作工序,降低对硅片污染的可能性。
为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种整盒硅片激光刻字识别装置,所述整盒硅片的内部设置有若干个整齐排列的硅片,每一个硅片的边缘位置处均设置有正对该刻字识别装置的激光刻字字符,该刻字识别装置包括用于放置所述整盒硅片的识别台、用于采集整盒硅片内的若干个硅片图片信息的工业相机、用于调整工业相机拍摄角度的旋转滑台以及用于调整工业相机竖直高度的直线滑台,工业相机安装在旋转滑台上且旋转滑台安装在直线滑台上,工业相机在识别台所在的平面上生成一位于整盒硅片正后方的投影,该投影与整盒硅片两者之间连线的两侧对称设置有两个用于为整盒硅片补光的光源。
进一步的,所述的工业相机、直线滑台、两个光源以及旋转滑台均设置在安装壳体的内部,识别台位于安装壳体的前端顶部。
进一步的,所述安装壳体内还设置有电源模块和控制模块,该控制模块包括嵌入式微控制器、电机驱动器、电源模块以及光源控制器,电源模块分别与嵌入式微控制器和工业相机电连接,工业相机和嵌入式微控制器均与上位机电连接,嵌入式微控制器通过电机驱动器分别与直线滑台和旋转滑台电连接,嵌入式微控制器通过光源控制器与所述的两个光源电连接。
进一步的,所述直线滑台上还设置有用于对工业相机的位置进行限位的限位开关,限位开关与嵌入式微控制器电连接。
进一步的,所述安装壳体上还设置有用于对该刻字识别装置进行控制的指示模块和控制按钮。
进一步的,所述的工业相机倾斜设置且工业相机的设置方向与水平方向之间的夹角为48°~58°。
进一步的,所述工业相机与整盒硅片之间的竖直距离为160mm~180mm。
进一步的,所述工业相机上安装有工业镜头。
进一步的,所述光源为直线光源。
一种整盒硅片激光刻字识别装置的识别方法,包括以下步骤:
步骤一:预先在嵌入式微控制器内设定多个运动阀值,每个运动阀值分别对应于一个尺寸的整盒硅片;
步骤二:通过指示模块向嵌入式微控制器中输入所要测量的整合硅片的尺寸信息,嵌入式微控制器根据尺寸信息选择一个对应的运动阀值,并将该运动阀值作为直线滑台的单次滑动高度;
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