[发明专利]一种半导体器件加工设备在审
申请号: | 202010269765.0 | 申请日: | 2020-04-08 |
公开(公告)号: | CN111446195A | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 饶家虎 | 申请(专利权)人: | 饶家虎 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200232 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 加工 设备 | ||
1.一种半导体器件加工设备,其结构包括伺贴承接装置(1)、活动机架(2)、上珩板(3)、封装机头(4)、扣接片(5)、电源线(6)、机台(7),其特征在于:
所述伺贴承接装置(1)活动安装在机台(7)上,所述电源线(6)与封装机头(4)电连接,所述上珩板(3)与活动机架(2)相焊接,所述封装机头(4)通过扣接片(5)固定安装在上珩板(3)上,所述活动机架(2)嵌入安装在机台(7)侧面;
所述伺贴承接伺贴装置(1)包括延引环(11)、风槽口(12)、放置板(13)、抽吸管(14)、伺贴盘(15),所述延引环(11)嵌入安装在风槽口(12)内部,所述放置板(13)与风槽口(12)为一体化结构,所述抽吸管(14)嵌入安装在放置板(13)内部,所述伺贴盘(15)设于放置板(13)内部中间位置。
2.如根据权利要求1所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述延引环(11)包括侧嵌环片(111)、胶环(112)、内环槽(113),所述胶环(112)内部上方设有内环槽(113),所述侧嵌环片(111)与胶环(112)为一体化结构。
3.如根据权利要求1所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述伺贴盘(15)包括泄口(a1)、分流管(a2)、错位通孔(a3)、交流扣片(a4)、贴盘(a5),所述泄口(a1)与贴盘(a5)为一体化结构,所述分流管(a2)嵌入在贴盘(a5)侧面,所述交流扣片(a4)与贴盘(a5)相嵌套,所述错位通孔(a3)与贴盘(a5)为一体化结构。
4.如根据权利要求3所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述交流扣片(a4)包括咬片(a41)、扣片(a42)、分泄口(a43),所述咬片(a41)固定安装在扣片(a42)上表面,所述扣片(a42)内部设有分泄口(a43)。
5.如根据权利要求4所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述分泄口(a43)包括连接条(a431)、风压片(a432)、筒套(a433),所述风压片(a432)通过连接条(a431)固定安装在筒套(a433)内部。
6.如根据权利要求3所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述贴盘(a5)包括顶盘(a51)、下压块(a52)、叠片(a53)、弹条(a54),所述顶盘(a51)下方设有下压块(a52),所述叠片(a53)右侧嵌入安装在弹条(a54)内部,所述下压块(a52)与叠片(a53)固定连接在一起。
7.如根据权利要求6所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述叠片(a53)共设有三组,且每组各设有三层。
8.如根据权利要求4所述的一种半导体器件加工设备,其特征在于:所述咬片(a41)由两片一体化的嵌片组成,且顶片略短底片略长。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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