[发明专利]层叠型压电元件

说明书

本发明提供一种层叠型压电元件，其具有：层叠体，其具有沿着包含相互正交的第一轴和第二轴的平面形成的压电体层和层叠于压电体层的内部电极层；和侧面电极，其形成于与层叠体的第一轴垂直的侧面。内部电极层具有露出于层叠体的一侧面的引出部，并且在引出部与侧面电极电连接。该层叠型压电元件中，在层叠体的内部，在位于内部电极层的外周部的压电体层存在的外周侧空孔的含有率(Ro)比在层叠体的中央部存在的中央侧空孔的含有率(Rc)变高。

技术领域

本发明涉及层叠型压电元件。

背景技术

层叠型压电元件具有层叠有内部电极和压电体层的结构，与非层叠型的压电元件相比可增大每单位体积的位移量及驱动力。该层叠型压电元件中，由于产生于层叠体的内部的应力，有时在内部电极与压电体层的界面产生裂纹。当在层叠体的内部产生裂纹时，作为压电元件的特性(位移量)降低，因此，要求抑制裂纹的产生的技术。

例如，专利文献1中公开有一种技术，通过在内部电极层的外周形成虚拟电极，在制造时防止在压电体层产生裂纹。但是，专利文献1中公开的技术中，在压电体层的厚度较薄的情况或层叠数增加的情况、另外在元件主体大幅化的情况等，有时不能充分抑制裂纹的产生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3794292号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明鉴于这种实际情况，其目的在于，提供能够抑制裂纹的产生的层叠型压电元件。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明涉及的层叠型压电元件，其具有：

层叠体，其具有沿着包含相互正交的第一轴和第二轴的平面形成的压电体层和层叠于所述压电体层的内部电极层；和

侧面电极，其形成于与所述层叠体的所述第一轴垂直的侧面，

所述内部电极层具有露出于所述层叠体的一侧面的引出部，并且在所述引出部与所述侧面电极电连接，

在所述层叠体的内部，在位于所述内部电极层的外周部的所述压电体层存在的外周侧空孔的含有率(Ro)比在所述层叠体的中央部存在的中央侧空孔的含有率(Rc)变高。

本发明涉及的层叠型压电元件中，在层叠体的中央部，空孔(中央侧空孔)较少。与之相对，位于内部电极层的外周部的压电体层中，空孔(外周侧空孔)的含有率变高。通过这种构成，本发明中，外周侧空孔能够缓和层叠体内部的收缩应力。因此，即使层叠体薄层化，或即使大幅化的情况，也能够抑制裂纹的产生，并提高层叠型压电元件的特性(位移等)。

优选的是，在所述层叠体的内部，所述外周侧空孔的含有率(Ro)与所述中央侧空孔的含有率(Rc)的差(Ro-Rc)为2％以上15％以下。更优选的是，所述含有率的差(Ro-Rc)为3％以上8％以下。通过外周侧空孔与中央侧空孔的含有率的差处于上述范围内，能够进一步提高层叠型压电元件的特性(位移等)。

另外，优选的是，在所述压电体层的所述平面，所述内部电极层的所述引出部以外的外周部处，经由间隙形成有虚拟电极层。而且，优选的是，在所述层叠体的内部，在与所述内部电极层与所述虚拟电极层之间的所述间隙对应的所述压电体层处，形成有间隙间空孔。

本发明涉及的层叠型压电元件中，通过存在间隙间空孔，也能够抑制压电体层的组成变动，可得到高的压电常数。

优选的是，在与所述间隙对应的所述压电体层，所述间隙间空孔的含有率为3％以上20％以下。

优选的是，所述间隙的宽度为0.05mm以上0.2mm以下。