[发明专利]光照射装置以及闪光灯

说明书

在使用了多个闪光灯的光照射装置中，提供一种不增大向各个灯的输入电流就能够整体出射高强度光、且能够以实用的寿命时间使用闪光灯的构造。其特征在于，在具有第一电极导入部与第二电极导入部的闪光灯的发光管的所述第二电极导入部侧的前端部设有光出射面，所述闪光灯以该光出射面面向处理室内的方式在该处理腔室的顶板上邻接地立设有多个。

技术领域

本发明涉及具备多个闪光灯的光照射装置以及用于该光照射装置的闪光灯。

背景技术

半导体通过在硅晶圆中对杂质进行离子掺杂之后退火而作为杂质被活性化了的半导体发挥功能。作为该加热方法，要求只对掺杂有杂质的半导体表面以微秒(ms)以下这样较短的时间进行加热，在该加热工序中，例如如日本特开2009-164201号公报(专利文献1)所公开那样，使用了闪光灯的退火非常有效。

近年来，在功率半导体领域中，除了以往以来使用的硅晶圆之外，还开始使用由碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)构成的半导体晶圆，它们具有高耐压、高耐热性、损耗(日文：損出)小等很多优点而在近年来备受期待。

然而，SiC、GaN与硅相比具有较大的热传导率，因此产生了如下课题：若以与以往相同的能量进行闪光灯退火，则热量传递到比表面更深的区域，不能将半导体晶圆表面加热至所希望的温度。因此，需要以比以往大的能量进行闪光灯退火，或为了避免从表面入射的热量在晶圆内部扩散而以更短的时间进行闪光灯退火。

然而，如果使向闪光灯输入的能量增加、或者虽然是相同的输入能量但欲在短时间内输入，则结果必须增大灯电流的峰值。这存在引起灯内表面的温度上升、发光管提前恶化、不能保全规定的寿命时间的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-164201号公报

发明内容

本发明将要解决的课题在于，鉴于上述现有技术的问题，提供能够出射高强度的光的光照射装置以及闪光灯。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，在本发明的光照射装置中，其特征在于，具备多个闪光灯，该闪光灯具有：纵长的发光管，封入有发光气体；第一电极导入部，设于该发光管的一端部侧；第二电极导入部，设于所述发光管的另一端部侧；以及第一电极及第二电极，设于各电极导入部内，在所述闪光灯的发光管的所述第二电极导入部侧的前端部设有光出射面，所述闪光灯以所述光出射面面向处理室内的方式在该处理腔室的顶板邻接地立设有多个。

另外，其特征在于，所述闪光灯的至少所述第二电极导入部配置为相对于该发光管的长度方向轴交叉，邻接的所述各闪光灯的发光管以所述第一电极导入部侧的间隔大于所述光出射面侧的间隔的方式使所述长度方向轴相互倾斜地配置。

另外，其特征在于，所述闪光灯被配置为向所述处理室内的被照射物无间隙地照射光。

另外，优选的是，所述处理腔室的顶板呈圆顶形状。

另外，优选的是，所述第二电极导入部配置为位于邻接的各闪光灯的各发光管之间。

另外，也可以是，所述闪光灯以从所述顶板的中央区域向周边区域扩散的方式配置为同心圆状，并配置为灯数从所述中央区域朝向所述周边区域变多。

另外，也可以是，所述闪光灯构成为能够在所述中央区域与所述周边区域按照各个区域的每一个进行电力控制。

另外，也可以是，所述闪光灯构成为能够分别独立地进行电力控制。

另外，优选的是，在配置所述闪光灯的所述顶板上与所述各光出射面对应地设有光照射窗。