[发明专利]光照射装置以及闪光灯

权利要求书

1.一种光照射装置，其特征在于，具备多个闪光灯，该闪光灯具有：纵长的发光管，封入有发光气体；第一电极导入部，设于该发光管的一端部侧；第二电极导入部，设于所述发光管的另一端部侧；以及第一电极及第二电极，设于各电极导入部内，

在所述闪光灯的发光管的所述第二电极导入部侧的前端部设有光出射面，所述闪光灯以所述光出射面面向处理腔室内的方式在该处理腔室的顶板邻接地立设有多个。

2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

所述闪光灯的至少所述第二电极导入部配置为相对于该发光管的长度方向轴交叉，

邻接的所述各闪光灯的发光管以所述第一电极导入部侧的间隔大于所述光出射面侧的间隔的方式使所述长度方向轴相互倾斜地配置。

3.根据权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于，

所述闪光灯被配置为向所述处理室内的被处理物无间隙地照射光。

4.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，

所述处理腔室的顶板呈圆顶形状。

5.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，

所述第二电极导入部配置为位于邻接的各闪光灯的各发光管之间。

6.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，

所述闪光灯以从所述顶板的中央区域向周边区域扩散的方式配置为同心圆状，并配置为灯数从所述中央区域朝向所述周边区域变多。

7.根据权利要求6所述的光照射装置，其特征在于，

所述闪光灯构成为能够在所述中央区域与所述周边区域按照各个区域的每一个进行电力控制。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的光照射装置，其特征在于，

所述闪光灯构成为能够分别独立地进行电力控制。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的光照射装置，其特征在于，

在配置所述闪光灯的所述顶板上与所述各光出射面对应地设有光照射窗。

10.一种闪光灯，其特征在于，具备：纵长的发光管，封入有发光气体；第一电极导入部，设于该发光管的一端部侧；第二电极导入部，设于所述发光管的另一端部侧；以及第一电极及第二电极，设于各电极导入部内，

在所述闪光灯的发光管的所述第二电极导入部侧的前端部设有光出射面，

至少所述第二电极导入部配置为相对于所述发光管的长度方向轴交叉，

所述第二电极的前端配置为向所述发光管内突出。

11.根据权利要求10所述的闪光灯，其特征在于，

所述第二电极是阳极。

12.根据权利要求10所述的闪光灯，其特征在于，

所述第一电极导入部形成为与所述发光管沿同一轴向延伸。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的闪光灯，其特征在于，

所述发光管的长度方向上的所述第二电极的投影面积形成为小于与所述发光管的长度方向正交的方向上的所述第二电极的最大投影面积。

14.根据权利要求13所述的闪光灯，其特征在于，

所述第二电极沿所述发光管的长度方向呈扁平的形状。

15.根据权利要求13所述的闪光灯，其特征在于，

在所述第二电极设有沿着所述发光管的长度方向那样的贯通孔。

16.根据权利要求10至12中任一项所述的闪光灯，其特征在于，

在所述发光管的外表面形成有端头部，

所述端头部配置为与所述第二电极导入部对置。