[发明专利]宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统有效
申请号: | 202010196927.2 | 申请日: | 2020-03-19 |
公开(公告)号: | CN111276435B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 李传宇;周连群;张威;郭振;姚佳;张芷齐;李金泽;李超 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H05K3/00 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 祁云珊 |
地址: | 215163 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 范围 均匀 应变 柔性 电子 基底 近圆式 拉伸 系统 | ||
1.一种宽范围、均匀应变的柔性电子基底近圆式拉伸系统,其特征在于,包括:
机架,设置有圆形拉伸区;
拉伸装置,设置在所述机架上,包括:均匀分布在所述拉伸区圆周的至少三个第一伸缩机构,等数量设置在任意相邻两个所述第一伸缩机构所形成的扇形区间内并将所述扇形区间均分的第二伸缩机构,以及单独驱动所述第一伸缩机构在所述拉伸区内沿径向做长程往复伸缩运动或同时驱动所述第一伸缩机构、所述第二伸缩机构在所述拉伸区内沿径向同步做短程往复伸缩运动的伸缩驱动机构;
转移装置,设置在所述机架上,包括:用于承载柔性电子基底的承载机构,驱动所述承载机构移动至所述拉伸区或由所述拉伸区撤离的转移驱动机构;其中,
所述伸缩驱动机构包括设置在所述机架上的伸缩驱动电机、驱动所有所述第一伸缩机构同步做长程往复伸缩运动或同步做短程往复伸缩运动的第一传动组件以及驱动所有所述第二伸缩机构同步做短程往复伸缩运动的第二传动组件,所述伸缩驱动电机上设置有分别与所述第一传动组件、所述第二传动组件连接的电磁离合器;
所述电磁离合器包括第一总驱动轮和第二总驱动轮;
所述第一传动组件包括对应于每个所述第一伸缩机构的第一传动从动轮以及将所述第一总驱动轮和所有所述第一传动从动轮联动连接的第一传输带,所有所述第一传动从动轮通过所述第一传输带受所述第一总驱动轮的驱动而转动;
所述第二传动组件包括对应于每个所述第二伸缩机构的第二传动从动轮以及将所述第二总驱动动轮和所有所述第二传动从动轮联动连接的第二传输带,所有所述第二传动从动轮通过所述第二传输带受所述第二总驱动轮的驱动而转动;
所述第一伸缩机构包括第一伸缩组件和第一抓放组件,所述第一伸缩组件和所述第一传动从动轮通过丝杆联动连接;所述第二伸缩机构包括第二伸缩组件和第二抓放组件,所述第二伸缩组件和所述第二传动从动轮通过丝杆联动连接;其中:
第一伸缩组件包括第一伸缩臂、第一伸缩壳体、第一伸缩从动轮、第一伸缩驱动轮、第一伸缩张紧轮和第一伸缩换向轮;第二伸缩组件包括第二伸缩臂、第二伸缩壳体、第二伸缩从动轮、第二伸缩驱动轮、第二伸缩张紧轮和第二伸缩换向轮;
第一传动组件与第一伸缩换向轮联动连接,第二传动组件与第二伸缩换向轮联动连接;仅第一总驱动轮转动,驱使第一传动组件通过第一伸缩换向轮带动第一伸缩臂沿拉伸区圆周径向往复伸缩运动,可实现第一伸缩臂做长程往复伸缩运动;第一总驱动轮和第二总驱动轮同步转动,且线速度相同,驱使第一传动组件和第二传动组件分别带动第一伸缩换向轮、第二伸缩换向轮同步运动,继而分别带动第一伸缩臂、第二伸缩臂沿拉伸区圆周径向同步做往复伸缩运动,同时,可实现第一伸缩臂和第二伸缩臂同步做短程往复伸缩运动。
2.根据权利要求1所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统,其特征在于,所述第一抓放组件和所述第二抓放组件结构相同,均包括:抓放基座,设置在所述抓放基座驱动侧的气缸,设置在所述抓放基座抓放侧并与所述气缸活塞轴联动连接的活动块,以及设置在所述抓放基座抓放侧并以所述活动块运动方向对称的抓放爪;
其中,每个所述抓放爪包括:一端铰接设置在所述抓放基座抓放侧的外连杆,一端铰接设置在所述活动块的内连杆,以及分别与所述外连杆另一端、所述内连杆另一端铰接的抓放端,所述气缸通过所述活动块带动两个所述内连杆运动以使两个所述抓放端相互靠近或远离从而实现抓取或放开。
3.根据权利要求2所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统,其特征在于,所述承载机构包括圆形承载盘体以及设置在所述承载盘体圆周上以供所述第一抓放组件往复伸缩运动的长槽、供所述第二抓放组件往复伸缩运动的短槽;
所述抓放端相互靠近或运动的方向与所述承载盘体的承载面垂直。
4.根据权利要求3所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统,其特征在于,所述抓放端的端面上设置有防滑结构;
在抓取状态时,靠近所述机架的所述抓放端的端面与所述承载盘体的承载面平齐。
5.根据权利要求4所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统,其特征在于,所述转移驱动机构包括固定设置在所述机架上的转移基座和固定设置在所述转移基座上的转移驱动电机,所述转移驱动电机与所述承载盘体通过丝杆联动连接。
6.根据权利要求5所述的柔性电子基底近圆式拉伸系统,其特征在于,所述第一伸缩机构设置四个,所述第二伸缩机构设置十二个。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造