[发明专利]压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备

权利要求书

1.一种压电换能器，其特征在于，包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜；所述压电振膜包括梁，所述梁在第一方向上的一端由所述支撑结构支撑，另一端为自由端；

所述压电振膜包括依次层叠设置于所述支撑结构上的第一电极层以及压电材料层；

其中，所述自由端的压电材料层的面积小于所述第一电极层的面积；

所述压电振膜包括至少两个相对的梁且所述至少两个相对的梁之间具有缝隙；其中，所述自由端的压电材料层在所述第一方向的垂直方向上的宽度从两边向中心逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述自由端的压电材料层在所述第一方向的垂直方向上的相对两个侧边至少一边呈弧形。

3.根据权利要求2所述的压电换能器，其特征在于，所述自由端的压电材料层为对称结构。

4.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述压电振膜还包括设置于所述压电材料层远离所述第一电极层一侧的第二电极层，所述第一电极层和/或第二电极层的厚度小于所述压电材料层的厚度。

5.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述压电振膜还包括设置于所述压电材料层远离所述第一电极层一侧的第二电极层，所述压电材料层上开设有通孔，以引出所述第一电极层；所述第二电极层包括第二电极以及第一电极引出端；

所述第一电极层包括第一电极，所述第一电极引出端与所述第一电极通过所述压电材料层上的通孔电连接。

6.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述压电振膜还包括依次层叠设置于所述支撑结构和所述第一电极层之间的柔性薄膜层和/或绝缘层。

7.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述支撑结构包括基板以及设置于所述基板上的牺牲层，所述牺牲层与所述压电振膜相邻设置；

其中，所述基板和所述牺牲层上开设有背腔以裸露所述自由端。

8.一种制备压电换能器的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供支撑结构；

在所述支撑结构上形成压电振膜；所述压电振膜包括依次层叠设置于所述支撑结构上的第一电极层以及压电材料层；

对所述支撑结构进行刻蚀形成背腔，以裸露部分所述压电振膜；

在与所述背腔相对位置处于所述压电振膜上开设缝隙；所述压电振膜包括梁，所述梁在第一方向上的一端由所述支撑结构支撑，另一端为自由端；

去除部分所述压电材料层，以使所述自由端的压电材料层的面积小于所述第一电极层的面积；

所述压电振膜包括至少两个相对的梁且所述至少两个相对的梁之间具有缝隙；其中，所述自由端的压电材料层在所述第一方向的垂直方向上的宽度从两边向中心逐渐减小。

9.根据权利要求8所述的制备压电换能器的方法，其特征在于，所述自由端的压电材料层在所述第一方向的垂直方向上的相对两个侧边为对称的弧形。

10.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括如权利要求1至7任一项所述的压电换能器。