[发明专利]用于从转移的压电层或铁电层产生微机电系统的方法

说明书

本发明涉及一种用于从转移的压电层或铁电层产生微机电系统的方法。用于制造微机电系统的方法包括以下步骤：‑在临时衬底(100)的表面上产生堆叠以产生第一组件，包括：‑至少沉积压电材料或铁电材料以产生压电材料层或铁电材料层(300)；‑产生第一键合层(500b)；‑产生第二组件，包括至少在主衬底(700)的表面上产生第二键合层(500c)；‑在两个组件中的至少一个组件中产生至少一个声隔离结构；‑在两个组件中的至少一个组件中产生至少一个包括一个或多个电极的电极层；‑在两个组件中的至少一个组件中产生至少一个电极层之前或之后，通过两个键合层键合所述两个组件；‑移除所述临时衬底。

技术领域

本发明的领域涉及压电微机电系统(micro-electro-mechanical systems，MEMS)，其用作信息处理元件(谐振器、滤波器等)、传感器(温度、压力、加速度、磁场、化学物质等的物理传感器)或者致动器(用于微流体系统的微型泵、微变形镜等)。

背景技术

机电组件形成用于各种系统中的一类独立的组件。例如，这些元件允许在电信号的作用下产生机械运动：此时称为致动器。这些组件的最常见的例子是喷墨打印机的打印头、机动车辆中使用的喷油器或者精密机械或科研设备中使用的微型或纳米定位系统。相比之下，其它系统利用机械元件对各种刺激的敏感性来传递电信息，从而使所述刺激被量化。此时称为传感器。这种情况的最常见的例子特别是加速度计、陀螺仪、压力传感器(麦克风)，以及其它。最后，最终的一类同时利用两种效果：机械结构在周期性电信号的影响下振动；如果该机械结构的振动足够稳定，则将该振动转录到电域中可以产生稳定的振荡系统。此时称为谐振器。这些组件的最常见的例子是手表和钟表制造业中使用的石英谐振器或者用于暂时性地使电路同步的振荡器。

所有这些机电系统都是基于结构的转换能力，即将一个域(电域、机械域等)中产生的信号转换到另一个域(电域、机械域等)中的能力。有多种技术是已知的，但最常见的一种是压电材料的使用。压电效应是由居里兄弟(P.Curie，《Notice sur les travauxscientifiques de M.P.Curie(关于P·居里先生的科学成果的通告)》，Gauthier-Villars(1902))在1880年发现的，其是晶体在机械应力的作用下极化的能力，或者反之亦然，是在电压的作用下变形的能力。因此，压电材料使电-机械转换或机械-电转换得以实现。