[发明专利]具有膜电极、对电极、以及至少一个弹簧的传感器

权利要求书

1.一种传感器(10)，包括：

结构(12)；

膜电极(14)，所述膜电极(14)作为受到压力的结果是可变形的，并且所述膜电极(14)与所述结构(12)接触；

对电极(16)，其被机械地连接到所述结构(12)并且通过间隙(18)与所述膜电极(14)分隔开；以及

至少有一个弹簧(20)，其在所述膜电极(14)和所述对电极(16)之间，以便在所述膜电极(14)和所述对电极(16)之间施加弹性力。

2.根据权利要求1所述的传感器，包括：

柔性膜连接件(22)，其将所述膜电极(14)机械地连接到所述结构(12)。

3.根据权利要求2所述的传感器，其中，

所述柔性膜连接件(22)被配置为至少作为所述膜电极(16)或所述膜电极(16)的主部分的弯曲或移动或变形的部分结果，而弹性地变形。

4.根据权利要求3所述的传感器，其中，

所述柔性膜连接件(22)包括切口或孔(22d)，所述切口或孔(22d)与所述膜电极(14)的与所述结构(12)接触的部分(22b)对应。

5.根据权利要求4所述的传感器，其中，

所述膜连接件(22)的所述切口或孔(22d)呈拱形和/或与所述膜电极(14)的边缘(14r)同心。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的传感器，其中，

所述柔性膜连接件(22)包括弹簧(22、23)，所述弹簧(22、23)机械地连接所述膜电极(14)和所述结构(12)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述膜电极(14)被插入在第一对电极(16)和第二对电极(17)之间，并且分别通过第一间隙(18)和第二间隙(19)与所述第一电极(16)和所述第二对电极(17)间隔开。

8.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述至少一个弹簧(30)是双压电晶片弹簧。

9.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述膜电极(14)被悬挑连接到所述结构(12)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述至少一个弹簧(20)包括膜侧脚(20a、30a)和对电极侧脚(20b、30b)，所述膜侧脚(20a、30a)邻接在所述膜电极(14)上，所述对电极侧脚(20b、30b)邻接在所述对电极(16)上。

11.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述至少一个弹簧(20)包括多个弹簧。

12.根据权利要求11所述的传感器，其中，

所述多个弹簧(20)是弹簧(20)的阵列或矩阵。

13.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

在所述膜电极(14)和所述结构(12)之间的所述机械连接件是无应力的。

14.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述膜电极(14)存在至少一个非导电岛，所述至少一个弹簧(20)邻接在所述至少一个非导电岛上，使得所述至少一个弹簧(20)与所述膜电极(14)电绝缘。

15.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，其中，

所述至少一个弹簧(20)包括在所述间隙(18)中的倾斜部分(22c)。

16.根据前述权利要求中任一项所述的传感器，被实现为芯片或封装件。