[发明专利]一种检测系统有效
申请号: | 202010094790.X | 申请日: | 2020-02-16 |
公开(公告)号: | CN111146109B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 孙璐 | 申请(专利权)人: | 徐州康禄新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 系统 | ||
1.一种检测系统,所述的检测系统包括阵列式光学取像装置、影像处理与检测装置、定位线性滑台装置、影像资料备份装置和人机界面装置;其特征在于,所述的阵列式光学取像装置用于获取CIGS薄膜太阳能板的解像力影像,所述的阵列式光学取像装置包括多组光学取像模组;所述的影像处理与检测装置包括多个工业计算机,所述的工业计算机的数量与所述的光学取像模组的数量相同并一一对应,所述的光学取像模组通过传输线与对应的所述的工业计算机相连;所述的定位线性滑台装置用于所述的CIGS薄膜太阳能板的定位和往复运动;所述的影像资料备份装置通过传输线与所述的影像处理与检测装置相连,所述的影像资料备份装置包括磁盘阵列储存设备,所述的磁盘阵列储存设备用于将所述的工业计算机存储的数据备份;所述的人机界面装置提供图形化的系统操作界面,显示最终的所述的CIGS薄膜太阳能板的检测分析结果;其中,所述的阵列式光学取像装置还包括线性LED光源,所述的线性LED光源的数量与所述的光学取像模组的数量相同并一一对应,所述的阵列式光学取像装置还包括支撑体,所述的支撑体包括主结构支撑件和背部支撑件,所述的主结构支撑件具有上板和下板,其中上板用于固定所述的光学取像模组,下板用于固定所述的线性LED光源,所述的上板和下板之间通过2支铝型材固定连接,所述的主结构支撑件通过多个L型角件与所述的背部支撑件相连。
2.根据权利要求1所述的一种检测系统,其特征在于,所述的光学取像模组包括线性单色相机、镜头、镜筒、调焦环,每组所述的光学取像模组获取的长条幅影像能够分割成多个影像段,所述的光学取像模组上还设有调整滑台,所述的调整滑台能够对所述的光学取像模组的位置进行微调。
3.根据权利要求2所述的一种检测系统,其特征在于,所述的线性LED光源的外部为同轴光源的架构,内置玻璃材质的棱镜,所述的棱镜具有镀膜,所述的镀膜的折、反射系数均为50。
4.根据权利要求3所述的一种检测系统,其特征在于,所述的阵列式光学取像装置能够在电动驱动马达的作用下进行位置的调整,所述的电动驱动马达包括Y轴驱动马达和Z轴驱动马达。
5.根据权利要求4所述的一种检测系统,其特征在于,每个所述的工业计算机内均设有影像采集卡,所述的影像采集卡通过传输线与对应的所述的光学取像模组相连。
6.根据权利要求5所述的一种检测系统,其特征在于,所述的检测系统还包括机械手臂,所述的机械手臂上真空吸附夹具。
7.一种CIGS薄膜太阳能电池的自动光学检测方法,所述的自动光学检测方法由权利要求6所述的检测系统完成,其特征在于,所述的CIGS薄膜太阳能电池的自动光学检测方法包括如下步骤:
A). 组装阵列式光学取像装置:先将Y轴驱动马达和Z轴驱动马达的传动轴固定在背部支撑件,其次通过多个L型角件将主结构支撑件固定在背部支撑件上,然后再分别将4个光学取像模组依照顺序安装于主结构支撑件的上板上,再将4个线性LED光源依照顺序安装于主结构支撑件的下板上;
B).校正光学取像模组:将校正片放置于一个线性螺杆推动的平台上,将单个光学取像模组架设于平台正上方,调整电子快门时间后以定速度移动校正片通过镜头下方,将所得影像选取正中心附近10个圆点的距离,测量数据后与校正片上的规格数值做比对,推算出倍率,如果倍率值与实际不符,则调整调焦环的数值,重复上述操作,直至倍率值与实际相符;
C). 调整光学取像模组的位置:将阵列式光学取像装置以Z轴驱动马达驱动,将第一组镜头的调整至指定的工作距离,进行取像分析,如果影像不清晰,则操作Z轴驱动马达使得阵列式光学取像装置上下微动,重复进行取像分析,直到影像清晰后停止;然后调整第二组镜头,此时Z轴驱动马达固定不动,操作调整滑台使得第二组镜头的位置进行微调,以所取得的影像作为分析判断,直到清晰后停止;依此方法,依序进行第三组镜头及第四组镜头的调整;最后,将四组镜头以连动方式进行取像,并定出每组镜头的景深范围,最终使四组镜头的连动取像都能消除外在因素的误差,得到全范围的清晰影像;
D). 启动真空吸附夹具,将太阳能板吸附在机械手臂上,操作机械手臂带动太阳能板,将太阳能板置入定位线性滑台装置内;
E).启动定位线性滑台装置,使得定位线性滑台装置带动太阳能板向阵列式光学取像装置运动;
F). 定位线性滑台装置的移动触发阵列式光学取像装置,使得阵列式光学取像装置开始获取太阳能板的影像资料;
G). 阵列式光学取像装置获取的太阳能板的影像资料传输至影像处理与检测装置的影像采集卡中,影像处理与检测装置的检测软件进行图像处理与测量辨识,分析数据储存,人机界面装置对数据进行显示;
H).检测结束后,操作机械手臂到达指定位置,将太阳能板吸附在真空吸附夹具上,操作机械手臂将太阳能板移出。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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