[发明专利]离子束电流测定装置及计算方法、试样制成装置

权利要求书

1.一种离子束电流测定装置，具备：

离子源，其具有阳极、阴极以及利用向所述阳极供给的输出电流来引出离子束的引出电极；

高压施加电路，其基于电压条件，向所述阳极与所述阴极之间施加电压来向所述阳极供给所述输出电流；

气体流量调整机构，其调整向所述离子源内导入的成为离子材料的气体的流量；

存储器，其记录有表示所述成为离子材料的气体的流量与向所述引出电极流动的引出电流的值之间的关系的信息；

运算处理部，其基于所述存储器中记录的所述信息来求出与所述成为离子材料的气体的流量相对应的所述引出电流，从由所述高压施加电路向所述阳极供给的所述输出电流的值减去所述引出电流的值，来计算要经过所述引出电极的所述离子束的电流值；以及

输出部，其输出由所述运算处理部计算出的要经过所述引出电极的所述离子束的电流值。

2.根据权利要求1所述的离子束电流测定装置，其中，

还具备设定部，该设定部设定所述电压条件和所述成为离子材料的气体的流量，

所述运算处理部基于所述电压条件和所述成为离子材料的气体的流量的设定内容，来对所述高压施加电路和所述气体流量调整机构进行控制处理。

3.根据权利要求1所述的离子束电流测定装置，其中，

还具备设定部，该设定部设定所述电压条件，

所述运算处理部基于所述电压条件的设定内容对所述高压施加电路和所述气体流量调整机构进行控制处理，以及进行基于计算出的所述离子束的电流值来调整所述成为离子材料的气体的流量的控制处理。

4.根据权利要求3所述的离子束电流测定装置，其中，

所述运算处理部进行以下处理作为调整所述成为离子材料的气体的流量的控制处理，所述处理包括：

设定与所述电压条件对应的所述成为离子材料的气体的第一流量，

基于所述存储器中记录的所述信息，来求出与所述成为离子材料的气体的第一流量相对应的所述引出电流的第一电流值，

从向所述阳极供给的所述输出电流的值减去所述引出电流的第一电流值，来计算所述离子束的第一电流值，

接下来，计算与所述成为离子材料的气体的第二流量相对应的所述离子束的第二电流值，所述第二流量是使所述成为离子材料的气体的第一流量变化规定量所得到的流量，

根据所述离子束的第一电流值与所述离子束的第二电流值之间的变化量，来计算所述成为离子材料的气体的流量的调整值。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的离子束电流测定装置，其中，

所述存储器中记录的信息为定义了所述成为离子材料的气体的流量与向所述引出电极流动的引出电流的值之间的关系的表。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的离子束电流测定装置，其中，

所述存储器中记录的信息为定义了所述成为离子材料的气体的流量与向所述引出电极流动的引出电流的值之间的关系的计算式。

7.一种试样制成装置，具备：

离子源，其具有阳极、阴极以及利用向所述阳极供给的输出电流来引出离子束的引出电极；

高压施加电路，其基于电压条件，向所述阳极与所述阴极之间施加电压来向所述阳极供给所述输出电流；

气体流量调整机构，其调整向所述离子源内导入的成为离子材料的气体的流量；

存储器，其记录有表示所述成为离子材料的气体的流量与向所述引出电极流动的引出电流的值之间的关系的信息；

运算处理部，其基于所述存储器中记录的所述信息来求出与所述成为离子材料的气体的流量相对应的所述引出电流，从由所述高压施加电路向所述阳极供给的所述输出电流的值减去所述引出电流的值，来计算要经过所述引出电极的所述离子束的电流值；

输出部，其输出由所述运算处理部计算出的要经过所述引出电极的所述离子束的电流值；以及

加工室，其向准备好的试样照射经过了所述引出电极的所述离子束，来对所述试样进行加工。

8.一种离子束电流计算方法，用于计算试样制成装置向试样照射的离子束的电流值，所述试样制成装置具备：离子源，其具有阳极、阴极以及利用向所述阳极供给的输出电流来引出离子束的引出电极；高压施加电路，其基于电压条件，向所述阳极与所述阴极之间施加电压来向所述阳极供给所述输出电流；气体流量调整机构，其调整向所述离子源内导入的成为离子材料的气体的流量；以及运算处理部，

在所述离子束电流计算方法中，所述运算处理部进行以下处理：

基于表示所述成为离子材料的气体的流量与向所述引出电极流动的引出电流的值之间的关系的信息，来求出与所述成为离子材料的气体的流量相对应的所述引出电流；以及

从由所述高压施加电路向所述阳极供给的所述输出电流的值减去所述引出电流的值，来计算要经过所述引出电极的所述离子束的电流值。