[发明专利]一种特气管路

说明书

本发明公开了一种特气管路，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接；有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种特气管路。

背景技术

PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)设备是太阳能电池生产的重要工艺环节设备，特气管路是PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜设备的重要组成部分，生产过程通过特气管路输送硅烷、氨气、三甲基铝(TMA)等工艺气体，持续生产过程中特气孔的大小、均匀一致性，直接影响工艺腔内气体的分布，特气孔分布均匀与否决定着镀膜的质量好坏和外观颜色的一致性。

现有的特气管路，是在管道上直接打孔，均匀分布着若干大小相同的小孔。特气孔每五至七天的维护周期内都会被工艺生成物(氮化硅、氧化铝等)堵塞，堵塞特气孔的物质坚硬，需要用钻头对特气孔进行打磨清理，而多次钻头打磨后容易使特气孔破损变形，从而影响气体分布，造成产品(晶体硅太阳能电池)的质量不良；根据特气管路的不同材质需要每三个月或者六个月，最长一年就得更换特气管道。现有部分厂家对特气孔进行改良，例如增加环状装置，增加可拆卸的螺纹栓等，但是在实际生产过程中尚未能解决工艺气体沉积较多、通孔清理不及时及不便等问题，实际应用中管道直接打孔为最常用特气管道的特气孔方式。

因此亟待一种特气管路的出现，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种特气管路，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种特气管路，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连通连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接。

本发明提供的一种特气管路，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，所述喇叭特气孔的下方进气口的直径小于所述喇叭特气孔的上方出气口的直径。

作为优选的方案，包括：主气管、供气管和至少两根以上支气管，所述主气管相连通的两根对称分布的支气管，所述支气管连通所述供气管，所述防堵塞喇叭特气孔设置于所述供气管侧壁上并与所述供气管连通，一种特气通过所述防堵塞喇叭特气孔均匀进入工艺腔体内。

作为优选的方案，所述外罩呈圆柱状、圆台状、倒圆台状或六边形状中的任一种。

作为优选的方案，所述喇叭状特气孔的下方进气孔的直径为0.1mm-2mm。

作为优选的方案，所述喇叭状特气孔的上方出气孔的直径为1.5mm-5mm。

作为优选的方案，所述防堵塞喇叭特气孔高度为1mm-5mm。

作为优选的方案，所述防堵塞喇叭状特气孔与所述供气管侧壁可拆卸式连接。