[发明专利]掩模组件及包括掩模组件的用于制造显示装置的设备在审
申请号: | 202010070772.8 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN111519134A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 金世一 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/34;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 尹淑梅;韩芳 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 包括 用于 制造 显示装置 设备 | ||
提供了一种用于制造显示装置的掩模组件和一种包括掩模组件的用于制造显示装置的设备,所述掩模组件包括:掩模框架,包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由第一边部分和第二边部分限定的开口部分;掩模片,布置在掩模框架的开口部分上,固定在掩模框架上,并且包括多个开口;以及支撑构件,利用被施加的拉力附着到掩模框架的第一边部分和第二边部分中的至少一者。
本申请要求于2019年2月1日提交的第10-2019-0013760号韩国专利申请的优先权和权益,出于所有目的,该韩国专利申请通过引用被包含于此,如同在这里充分阐述的一样。
技术领域
发明的示例性实施方式总体涉及一种掩模组件设备,更具体地,涉及一种用于显示装置的掩模组件以及一种包括该掩模组件的用于制造显示装置的设备。
背景技术
移动电子设备被广泛使用。对于移动电子设备,不仅诸如移动电话之类的小型电子设备已经被广泛使用,而且最近,平板个人计算机(PC)也已经被广泛使用。
为了支持各种功能,移动电子设备包括显示装置,以向用户提供诸如图像的视觉信息。近来,随着用于驱动显示装置的部件已经小型化,电子设备的被显示装置占据的部分已经逐渐增加,并且允许显示装置在平坦状态下具有预定角度的可弯曲结构正在开发中。显示装置可以通过具有精细图案的掩模组件来制造,通过所述掩模组件将沉积材料施加到基底以生产显示装置。
在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解发明构思的背景,因此,其可能包含不构成现有技术的信息。
发明内容
申请人发现,在制造用于显示装置的掩模组件的工艺期间,掩模框架会在掩模片被附着到掩模框架之后变形。结果,因为变形的掩模具有与为显示基底设计的图案不同的图案,所以在通过使用变形的掩模组件沉积沉积材料而制造的显示装置中会产生缺陷。
由于根据发明的原理和示例性实施方式构造的用于显示装置的掩模组件可以保持掩模框架的最初设计的形状,因此掩模组件能够制造出具有精细沉积图案的显示装置。
例如,用于根据发明的原理和示例性实施例构造的掩模组件的一个或更多个支撑构件可以利用被施加的拉力被选择性地附着到掩模框架或被从掩模框架去除,这从而通过简单的结构校正了掩模组件的变形而不损害掩模组件的完整性。
包括根据发明的原理和示例性实施方式构造的掩模组件的用于制造显示装置的设备以及根据发明的原理的制造显示装置的方法能够简单地且快速地校正在沉积工艺期间发生的掩模框架的变形,从而减少了显示装置的制造时间和制造成本。
根据发明的原理和示例性实施例的用于制造显示装置的设备和制造显示装置的方法通过使用具有最小化的变形的掩模组件制造出包括精确图案的显示装置,并且使制造显示装置时的缺陷率最小化。
发明构思的附加特征将在下面的描述中阐述,并且部分地通过该描述将是明显的,或者可以通过实践发明构思来习得。
根据发明的方面,一种用于制造显示装置的掩模组件包括:掩模框架,包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由第一边部分和第二边部分限定的开口部分;掩模片,布置在掩模框架的开口部分上,固定在掩模框架上,并且包括多个开口;支撑构件,利用被施加的拉力附着到掩模框架的第一边部分和第二边部分中的至少一种边部分。
掩模框架的第一边部分和第二边部分中的所述至少一种边部分可以包括槽,并且支撑构件可以包括横跨槽设置的支撑杆。
槽的长度可以比掩模框架的开口部分的一边的长度小。
槽的宽度可以为其中形成有槽的所述至少一种边部分的宽度的大约1/2或更小。
支撑杆可以在槽的长度方向和槽的宽度方向中的至少一个方向上横跨槽设置。
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