[发明专利]掩模组件及包括掩模组件的用于制造显示装置的设备在审
申请号: | 202010070772.8 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN111519134A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 金世一 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/34;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 尹淑梅;韩芳 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 包括 用于 制造 显示装置 设备 | ||
1.一种用于制造显示装置的掩模组件,所述掩模组件包括:
掩模框架,包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与所述第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由所述第一边部分和所述第二边部分限定的开口部分;
掩模片,布置在所述掩模框架的所述开口部分上,固定在所述掩模框架上,并且包括多个开口;以及
支撑构件,利用被施加的拉力附着到所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的至少一种边部分。
2.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的所述至少一种边部分包括槽,并且所述支撑构件包括横跨所述槽设置的支撑杆。
3.根据权利要求2所述的掩模组件,其中,所述槽的长度比所述掩模框架的所述开口部分的一边的长度小。
4.根据权利要求2所述的掩模组件,其中,所述槽的宽度为所述槽形成在其中的所述至少一种边部分的宽度的1/2或更小。
5.根据权利要求2所述的掩模组件,其中,所述支撑杆沿所述槽的长度方向和所述槽的宽度方向中的至少一个方向横跨所述槽设置。
6.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述支撑构件包括可拆卸地附着到所述掩模框架的支撑杆,以能够根据所述掩模框架的变形从所述掩模框架拆卸而不损害所述掩模框架的完整性。
7.根据权利要求1所述的掩模组件,其中,所述支撑构件包括多个第一支撑杆和多个第二支撑杆,并且所述第一支撑杆中的至少一个支撑杆附着到所述掩模框架的所述第一边部分中的一个第一边部分,所述第二支撑杆中的至少一个第二支撑杆附着到所述掩模框架的所述第一边部分中的另一个第一边部分。
8.根据权利要求7所述的掩模组件,其中,所述第一支撑杆的数量和所述第二支撑杆的数量彼此不同。
9.一种用于制造显示装置的设备,所述设备包括:
腔室,显示基底布置在所述腔室中;
掩模组件,布置在所述腔室内部以面对所述显示基底;以及
沉积源,布置在所述腔室内部以面对所述掩模组件,
其中,所述掩模组件包括:
掩模框架,包括沿第一方向布置的一对第一边部分,沿第二方向布置的一对第二边部分以及由所述第一边部分和所述第二边部分限定的开口部分;
掩模片,布置在所述掩模框架的所述开口部分上,固定在所述掩模框架上,并且包括多个开口;以及
支撑构件,利用被施加的拉力附着到所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的至少一种边部分。
10.根据权利要求9所述的设备,其中,所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的所述至少一种边部分包括槽,并且所述支撑构件包括横跨所述槽设置的支撑杆。
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