[发明专利]一种单晶硅光栅导模共振滤波器

权利要求书

1.一种单晶硅光栅导模共振滤波器，其特征在于，包括：锗薄膜层（1）和单晶硅光栅层（2）；所述单晶硅光栅层（2）的顶端具有多个尺寸相同的锯齿状突起，各个锯齿状突起的底边均在底边直线上，各个锯齿状突起的两条侧边与底边直线所成的夹角相等；所述锗薄膜层（1）为将锗镀在所述锯齿状突起的表面形成的第一薄膜层；

所述单晶硅光栅层（2）的各组侧面相互平行，所述单晶硅光栅导模共振滤波器还包括：二氧化硅抗反层（3），所述二氧化硅抗反层（3）为将二氧化硅镀在所述锗薄膜层（1）表面形成的第二薄膜层；

TE线偏振光以垂直于所述底边直线的方向入射到所述二氧化硅抗反层（3）表面，再从所述二氧化硅抗反层（3）表面反射出来得到反射光线，所述反射光线是0级光，反射方向跟入射方向完全相反；

各个锯齿状突起的底边长范围设定为1-2μm；

所述第一薄膜层的厚度范围设定为200-600nm；

所述夹角等于54.74度；

所述第二薄膜层的厚度范围设定为200-600nm。

2.根据权利要求1所述的单晶硅光栅导模共振滤波器，其特征在于，所述单晶硅光栅层（2）构成所述单晶硅光栅导模共振滤波器的基底。