[发明专利]检查装置

说明书

本发明提供一种通过不使被检查物的端面的接触痕迹显示于拍摄图像，能够高精度地检查端面的外观性状的检查装置。本发明的检查装置具备：搬送被搬送物(W)的搬送机构；第1照明机构，对被检查物的被检查面进行照明；及摄像机，拍摄被检查面。第1照明机构具备对被检查面进行照明的发光器、及支撑发光器的支撑体，支撑体在比另外一组发光器远离检查位置的位置上支撑最靠近搬送路径的发光器。在远离的发光器与另外一组发光器之间形成能够自与检查位置相反一侧的背面观察被检查面的空间，摄像机通过该空间拍摄被检查面。远离的发光器的1/2波束角处于30°～80°的范围内，另外一组发光器的1/2波束角处于10°～25°的范围内。

技术领域

本发明涉及一种能够高精度地检查电子零件等微小的被检查对象物的端面的外观性状的检查装置。

背景技术

作为检查电子零件等的外观性状的装置之一，以往已知有如后述专利文献1(日本专利特开平5-288527号公报)所公开的检查装置。该检查装置具备使载置于台上的印刷基板在XY方向上移动的设备、具有配设为圆顶状的多个LED来对所述印刷基板上的被检查部进行照明的照明设备、及自形成于照明设备的顶部的孔拍摄印刷基板上的被检查部的摄像机。

根据该检查装置，利用所述照明设备对印刷基板上的被检查部进行照明，并利用所述摄像机拍摄该被检查部的图像。并且，通过对像这样拍摄的图像数据进行解析，判别所述被检查部的外观性状的好坏。

以往，这种检查装置保持具备使被检查物移动的设备、对被检查物进行照明的设备、以及拍摄被检查物的图像的设备这一基本构成不变，不过根据检查对象物即被检查物的形状或检查部位采用经设计、变化的形态。

例如，在检查呈6面体的电子零件(例如电容器等)的端面的情况下，采用如下等形态：适当地利用搬送机构在规定搬送方向上搬送该电子零件，在该搬送中途的规定位置上设定的检查位置上利用照明机构自搬送方向前方对电子零件的前端面进行照明，并且适当地利用摄像机自斜前方拍摄该电子零件的前端面。

在该情况下，作为照明机构，采用以与搬送机构的搬送方向正交的垂直面分割将LED(发光二极体)配设为圆顶状的所述照明设备的形态，以在其搬送方向前侧的部分对电子零件的前端面进行照明的方式构成。

此外，照明机构在未配置LED的部位穿设了贯通孔，摄像机通过该贯通孔拍摄所述电子零件的前端面。

另外，在检查电子零件的前端面的外观性状的情况下，为了高精度地对其进行检查，优选以搬送方向与摄像机的拍摄光轴所成的角度(仰角)尽可能小的方式配设摄像机，尽可能地自正面拍摄电子零件的前端面。通过自正面拍摄前端面，能够使所获得的图像数据最大，从而进行更高精度的解析。

此外，所述照明机构优选在如其照明光轴相对于电子零件的前端面尽可能接近直角的位置上，换句话说，在尽可能靠近搬送机构的搬送路径的位置上配设LED。这样一来，通过在靠近搬送路径的位置上设置LED，能够自所述前端面将更多的反射光撷取至以拍摄光轴的仰角尽可能小的方式配设的摄像机，由此利用该摄像机拍摄的图像变得更加清晰。如此，通过以这种方式获得清晰的图像，能够提高基于该图像的解析的精度。

近年来，所述电子零件的微小化不断加快，以往截面为3mm×2mm的电子零件通过小型化发展至截面为0.4mm×0.2mm的电子零件，为了应对这种微小化，也优选如上所述的摄像机与LED的配置。

然而，存在如下问题：如果采用尽可能地将摄像机的拍摄光轴的仰角设定得较小，尽可能地将LED配设于靠近搬送机构的搬送路径的位置的构成，那么摄像机的拍摄光轴与LED成为互相干扰的位置关系，从而无法在照明机构上设置用来拍摄电子零件的贯通孔，也就是说，无法拍摄电子零件。

因此，本案发明者等鉴于这种问题，已经提出如后述专利文献2所公开的检查装置。